[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜及其制备方法和用途在审

专利信息
申请号: 201410120345.0 申请日: 2014-03-27
公开(公告)号: CN103943721A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 高濂;王静;张鹏;宋雪峰 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 代理人: 郑立
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 铜锌锡硫 薄膜 及其 制备 方法 用途
【权利要求书】:

1.一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)配制前驱液:将氯化铜、氯化锌、氯化亚锡和硫脲共同溶解到甲醇或者乙醇中,搅拌直至溶液澄清透明;

(2)将基底FTO分别在丙酮、乙醇、去离子水中逐次进行超声清洗;

(3)将所述前驱液旋涂到所述基底FTO的表面,然后进行干燥;

(4)将步骤(3)得到的样品置于氮气或氩气中煅烧,得到铜锌锡硫薄膜。

2.如权利要求1所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,在所述步骤(1)中,以摩尔计,所述氯化铜:氯化锌:氯化亚锡:硫脲=0.5~2:1:0.5~1:4~20。

3.如权利要求1所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,在所述步骤(2)中,所述超声清洗的时间为5~30分钟。

4.如权利要求1所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,在所述步骤(3)中,所述旋涂的速率为300~3500转/分钟,所述旋涂的时间为5~120秒。

5.如权利要求1所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,在所述步骤(3)中,所述干燥的温度为100-200℃。

6.如权利要求5所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,在所述步骤(3)中,所述干燥的时间为5~30分。

7.如权利要求1所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)重复两次以上。

8.如权利要求1所述的铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,在所述步骤(4)中,所述煅烧的温度为200-600℃,所述煅烧的时间为1小时。

9.一种根据权利要求1-8所述的制备方法制得的铜锌锡硫薄膜,其特征在于,所述铜锌锡硫薄膜致密性好、表面平整均匀且无裂纹;所述铜锌锡硫薄膜的能带为1.5eV。

10.一种使用权利要求9所述的铜锌锡硫薄膜制备铜锌锡硫/硫化镉/二氧化碳薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)用碘化镉、氯化镉或醋酸镉作为镉源,硫脲作为硫源,氨水作为络合剂,并加入适量缓冲剂,配制成硫化镉的化学浴水溶液;

(2)将所述铜锌锡硫薄膜浸泡在所述硫化镉的化学浴水溶液中,油浴加热至60~90℃,保温5~35分钟后将所述铜锌锡硫薄膜取出,用足量的去离子水和乙醇冲洗并且吹干,在100~300℃下煅烧30分钟,得到铜锌锡硫/硫化镉薄膜;

(3)将步骤(2)中得到的铜锌锡硫/硫化镉薄膜放入原子层沉积设备中,在100~250℃下保温30~300分钟,得到铜锌锡硫/硫化镉/二氧化钛薄膜。

其中,在步骤(1)中,以摩尔计,所述镉源:硫源=1:1~10,所述硫化镉的化学浴水溶液呈碱性。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学,未经上海交通大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410120345.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top