[发明专利]抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线

权利要求书

1.一种抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：包括真空腔室区，所述真空腔室区包括依次排列相连通的第一预初轴腔室、第一过渡腔室、第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室、第一隔离腔室、第二隔离腔室、第一导电膜镀膜腔室、第二导电膜镀膜腔室、第二过渡腔室、第二预初轴腔室；所述第一预初轴腔室、第一过渡腔室、第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室、第一隔离腔室、第二隔离腔室、第一导电膜镀膜腔室、第二导电膜镀膜腔室、第二过渡腔室、第二预初轴腔室相邻腔室之间均设置有可开启或关闭的隔离门，所述第一预初轴腔室入片口处设置上片升降区，所述第二预初轴腔室出片口处设置下片升降区；真空腔室区内部设置贯穿连续的多个基片载具传送轴，所述基片载具传送轴一端穿过真空腔室壁与伺服传动马达相接驱动。

2.根据权利要求1所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：所述基片载具传送轴上对称设置有两个基片载具传动轮, 靠近真空腔室区内壁两侧对称设置有基片载具导向轮。

3.根据权利要求1或2所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：还包括多个机架；所述第一预初轴腔室、第一过渡腔室、第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室、第一隔离腔室、第二隔离腔室、第一导电膜镀膜腔室、第二导电膜镀膜腔室、第二过渡腔室、第二预初轴腔室底部均设置有机架来支撑固定；所述机架上设置有回转传动组。

4.根据权利要求3所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：所述机架底部设置有地脚脖用以调整机架高度。

5.根据权利要求4所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：所述机架底侧横向设置有一底杆，底杆底侧设置有便于移动的滑轮。

6.根据权利要求1所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：所述真空腔室区与真空泵组通过抽真空阀组相连通。

7.根据权利要求1所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：所述第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室设置有氩气充气口。

8.根据权利要求1所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：所述第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室内设置有孪生磁控溅射靶；每对孪生靶配置四支制程进气管路。

9.根据权利要求1所述的抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：第一预初轴腔室和第二预初轴腔室分别连接抽气系统。