[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，具备：

准分子灯，在封入了发光气体的发光管的上下外表面上配置一对外部电极而成；以及

外壳，收容该准分子灯并且在下方设置有光取出开口，

所述一对外部电极中的、与被处理体对置的下方的外部电极被施加低电压，上方的外部电极被施加高电压，

该光照射装置的特征在于，

在所述外壳的光取出开口上，在所述高压侧的外部电极与被处理体之间且沿着所述准分子灯的长度方向的位置，具备电场遮蔽部件，该电场遮蔽部件对在所述高压侧的外部电极与所述低压侧的外部电极之间形成的电场进行遮蔽。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

所述电场遮蔽部件与所述外壳电连接，并经由该外壳接地。

3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于，

在所述外壳内，具备供给惰性气体的气体供给单元，

所述电场遮蔽部件具备通风孔，该通风孔使所述惰性气体朝向所述被处理体流出。