[发明专利]电极接合装置以及电极接合方法有效
申请号: | 201380080714.1 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN105706249B | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 一濑明大;山田义人;西中大之;吉田章男 | 申请(专利权)人: | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
主分类号: | H01L31/046 | 分类号: | H01L31/046;B23K20/10;H01R43/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 柯瑞京 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 接合 装置 以及 方法 | ||
本发明的目的在于,提供一种对电极实施多点的超声波振动接合处理、且即使对基板使电极以较小的剥离力接合也能抑制各点的剥离力的偏差的电极接合装置。并且,本发明在太阳能电池单元(ST1)上使集电电极(20A、20B)沿着玻璃基板(1)的端边部(L1、L2)配置。然后,由按压构件(12A)在从端边部到配置集电电极的位置为止的玻璃基板的区域沿着端边部按压玻璃基板。然后,一边进行该按压,一边使用超声波振动工具(14)对集电电极实施超声波振动接合处理。
技术领域
本发明涉及太阳能电池的制造方法,更具体地,涉及利用了超声波振动接合法的基板与太阳能电池的构成构件的接合。
背景技术
过去以来,作为太阳能电池,利用在玻璃基板上成膜发电层以及电极层等而成的薄膜太阳能电池。该薄膜太阳能电池一般将多个太阳能电池单元串联连接而构成。
另外,在上述薄膜太阳能电池的构成中,在各太阳能电池单元发电的电会被集电在形成于玻璃基板的两端边部附近的集电电极(汇流条)。然后,由集电电极集电的电被通过引出线(引线)取出。即,引出线与集电电极连接,另外还与端子盒的端子连接。通过该连接构成,引出线能将在集电电极集电的电导向端子盒。
在此,集电电极与形成于玻璃基板上的太阳能电池单元的电极层电连接,引出线不与太阳能电池单元直接连接(即,引出线经由集电电极与太阳能电池单元电连接,但太阳能电池单元自身与引出线自身绝缘)。
另外,利用与本发明关联的现有技术(即,利用超声波振动接合处理将集电电极等连接于基板的现有技术)已经存在多种(专利文献1、2、3、4、5)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2010/150350号
专利文献2:JP特开2011-9261号公报
专利文献3:JP特开2011-9262号公报
专利文献4:JP特开2012-4280号公报
专利文献5:JP特开2012-4289号公报
发明内容
发明要解决的课题
在基板上形成太阳能电池单元(太阳能电池层叠膜),使带状的集电电极配置在该太阳能电池单元上,对该集电电极实施超声波振动接合处理。由此,构成该太阳能电池单元的电极层与集电电极电连接,集电电极相对于基板接合。
在超声波振动接合处理中,使超声波振动工具对集电电极抵接、加压。然后,一边进行该加压,一边使超声波振动工具在水平方向上进行超声波振动。然而,近年来,期望使相对于基板的集电电极的剥离强度(接合强度)为低强度来进行施工。这出于以下的理由。
为了增强相对于基板的集电电极的剥离强度(接合强度),使超声波振动工具对集电电极较强地加压。于是,存在于集电电极的下方的太阳能电池单元会受到损害,在该受到损害的太阳能电池单元中会不进行发电。因而,为了在维持相对于基板的集电电极的接合(固定)的同时、避免太阳能电池单元的损害,期望使相对于基板的集电电极的剥离强度(接合强度)为低强度来进行施工。另外,即使使集电电极的剥离强度降低,也需要使集电电极固定于形成太阳能电池单元的基板上。
另外,在相对于基板接合带状的集电电极时,沿着该带状对集电电极的多点(称作处理实施点或处理点)实施超声波振动接合处理。在此,不期望在集电电极中的各处理实施点处在集电电极的剥离强度(接合强度)上出现较大的偏差。这是因为,在使集电电极的剥离强度(接合强度)为低强度进行施工的情况下,若剥离强度(接合强度)的偏差变大,则会产生完全不能接合的处理实施点,或者出现由于加压力过大而给太阳能电池单元带来损害的处理实施点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的