[发明专利]电极接合装置以及电极接合方法有效
申请号: | 201380080714.1 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN105706249B | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 一濑明大;山田义人;西中大之;吉田章男 | 申请(专利权)人: | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
主分类号: | H01L31/046 | 分类号: | H01L31/046;B23K20/10;H01R43/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 柯瑞京 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 接合 装置 以及 方法 | ||
1.一种电极接合装置,是使第一电极以及第二电极(20A、20B)沿着形成有太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)的相互对置的第一端边部以及第二端边部(L1、L2)而与所述基板(1)接合的电极接合装置(100),具备:
基台(11),其载置所述基板;
超声波振动工具(14),其在所述太阳能电池单元上,对沿着所述第一端边部以及所述第二端边部配置的所述第一电极以及所述第二电极实施超声波振动接合处理;和
2个按压构件(12A),能够在上下方向上移动,用于按压所述基板,
一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第一端边部到所述第一电极的配置位置为止的第一给定区域内,沿着所述第一端边部避开所述第一电极地按压所述基板,
另一方的所述按压构件在所述基板中的从所述第二端边部到所述第二电极的配置位置为止的第二给定区域内,沿着所述第二端边部避开所述第二电极地按压所述基板,
所述电极接合装置还具备:
用于控制所述按压构件的控制部,
所述控制部可变地控制由所述按压构件进行的所述按压的力。
2.根据权利要求1所述的电极接合装置,其特征在于,
所述按压构件的截面形状为L字状,
所述按压构件还能够在水平方向上移动。
3.根据权利要求2所述的电极接合装置,其特征在于,
所述按压构件中的与所述太阳能电池单元上抵接的部分,比所述按压构件中的与所述基板的侧面抵接的部分柔软。
4.根据权利要求3所述的电极接合装置,其特征在于,
所述控制部可变地控制由所述超声波振动工具进行的所述超声波振动接合处理的条件。
5.一种电极接合方法,具备:
(A)将形成太阳能电池单元(ST1)的矩形状的基板(1)载置在基台(11)上的工序;
(B)在所述太阳能电池单元上使电极(20A、20B)沿着所述基板的端边部(L1、L2)配置的工序;
(C)在从所述端边部到配置所述电极的位置为止的所述基板的区域内,沿着所述端边部避开所述电极地按压所述基板的工序;和
(D)一边进行所述(C)工序,一边对所述电极实施超声波振动接合处理来使所述电极与所述基板接合的工序,
可变地控制按压所述基板的力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的