[发明专利]光波导形成用树脂组合物、光波导形成用树脂膜和使用它们的光波导

说明书

技术领域

本发明涉及光波导用树脂组合物、光波导形成用树脂膜和使用它们的光波导，尤 其涉及透明性(低光传播损失)优异并且可溶于碱性水溶液的光波导用树脂组合物、由该树 脂组合物构成的光波导用树脂膜和使用它们的光波导。

背景技术

近年来，在电子元件间、配线基板间的高速、高密度信号传输中，对于以往利用电 气配线进行的传输，信号的相互干涉、衰减成为障碍，开始可见高速、高密度化的极限。为了 打破该极限，研究了用光连接电子元件间、配线基板间的技术，即所谓的光互连。作为光的 传输路径，从加工容易性、低成本、配线的自由度高、并且能够高密度化方面出发，聚合物光 波导备受关注。

作为聚合物光波导的形态，认为如下类型合适：在设想应用于光电混载基板的玻 璃环氧树脂基板上制作的类型、不带有设想连接板彼此的硬支撑基板的柔性类型。

对于聚合物光波导，从所应用的器械的使用环境、部件安装等观点出发，要求透明 性(低光传播损失)的同时还要求高耐热性。此外，根据光配线设计的自由度提高、设备的高 功能化、工序简化等要求，期望是通过曝光、显影能够自由形成所要求的图案的材料。作为 显影方法，可设想溶剂显影型和碱显影型，但从环境负荷、安全性的观点出发，期望碱显影 型。作为应对这样的要求的光波导材料，已知使用了(甲基)丙烯酸聚合物的材料(例如，参 照专利文献1)。

然而，该专利文献中记载的使用了(甲基)丙烯酸聚合物的光波导用树脂组合物虽 然能够进行碱显影，并且在波长850nm时具有0.3dB/cm的光传播损失，但是对于所要求的利 用光的高速、高密度信号传输，该数值未必充分。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4241874号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种光波导用树脂组合 物、光波导用树脂膜和使用它们的光波导，所述光波导用树脂组合物可溶于碱性水溶液，能 够通过碱显影进行所要求的图案化，并且波长830～850nm时的光传播损失优异。

本发明人等反复进行了深入研究，结果发现：通过满足特定测定条件下折射率的 行为条件，或者通过使用特定的化合物，能够得到具有优异的透明性(低光传播损失)并且 优选能够进行碱显影的光波导用树脂组合物、光波导用树脂膜和使用它们的光波导，所述 光波导用树脂组合物是含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C)聚合引发剂的光波导形成 用树脂组合物。

即，本发明涉及以下各项发明。

(1)一种光波导形成用树脂组合物，其是含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C) 聚合引发剂的光波导形成用树脂组合物，上述组合物是折射率A与折射率B的关系为A＞B的 组合物，

所述折射率A是通过将组合物形成为膜状，以处于1000～4000mJ/cm²范围的预定 照射量(X)照射紫外线(波长365nm)，接着以处于160～180℃范围的预定温度(T1)和处于 0.5～3小时范围的预定时间(H1)加热后测定的、处于830～850nm范围的预定波长(λ)下的 折射率，

所述折射率B是通过将组合物形成为膜状，以上述预定的照射量(X)照射紫外线 (波长365nm)，接着以温度处于20～40℃范围的预定温度(T2)和时间处于1～5分钟范围的 预定时间(H2)浸渍于具有处于0.5～5质量％范围的预定浓度(C1)的碳酸钾水溶液中，之后 以上述预定温度(T1)加热上述预定时间(H1)后测定的、上述预定波长(λ)下的折射率。

(2)一种光波导形成用树脂组合物，其是含有(A)聚合物、(B)聚合性化合物和(C) 聚合引发剂的光波导形成用树脂组合物，上述组合物是折射率A与折射率C的关系为A-C≥ 0.003的组合物，

所述折射率A是通过将组合物形成为膜状，以处于1000～4000mJ/cm²范围的预定 照射量(X)照射紫外线(波长365nm)，接着以处于160～180℃范围的预定温度(T1)加热处于 0.5～3小时范围的预定时间(H1)后测定的、处于830～850nm范围的预定波长(λ)下的折射 率，

所述折射率C是通过将组合物形成为膜状，以上述预定照射量(X)照射紫外线(波 长365nm)后测定的、上述预定波长(λ)下的折射率。