[发明专利]一种包含MEMS装置的显示设备

权利要求书

1.一种显示设备，包括：

一个或多个微机电系统MEMS装置，其中所述MEMS装置中至少一个包含：

第一电极，包括部分反射性表面；

第二电极，包括部分反射性或全反射性的表面并且设置成基本平行于所述第一电极；以及

模拟致动装置，耦合到所述第一电极、所述第二电极或所述第一和第二电极二者，以响应于致动电压选择性地施加而引起所述第一电极从开始位置移动到多个终端位置中的所选择的位置以引起所述MEMS装置选择性地以选择的波长输出光的反射，或没有光的反射，

其中，所述MEMS装置还包含设置在所述第二电极下方的反射率控制板，其中所述控制板包含反射板和配置成控制所述反射板的反射率的附加电极。

2.根据权利要求1所述的显示设备，还包括配置成施加所述致动电压的致动电路。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述开始位置对应于所述致动电压的第一值，并且所述终端位置对应于所述致动电压的第二值，其中所述第一值和所述第二值限定了所述致动电路的致动范围。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述模拟致动装置包括配置成抑制所述第一电极远离开始位置的移动的弹簧。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述弹簧配置成提供与用于移动所述第一电极远离所述开始位置所施加的静电力相反的非线性回复力。

6.根据权利要求4所述的设备，其中，所述弹簧是第一弹簧，并且所述模拟致动装置还包含第二弹簧，其中所述弹簧与所述第一电极的相应端部耦合。

7.根据权利要求4所述的设备，其中，所述弹簧包含夹在所述第一和第二电极之间的弹性体基底，其中所述弹性体基底的高度限定了所述第一电极的所述开始位置与所述第二电极的表面之间的间隙。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述第一电极的所述开始位置与所述第二电极的所述表面之间的所述间隙对应于所述多个终端位置的致动范围。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述模拟致动电路包含梳状致动器。

10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第二电极包含两个电分离的部分，以响应于所述致动电压选择性地施加到所述第二电极的所述第一或所述第二部分，引起所述第一电极朝向所述第二电极所选择的所述第一或第二部分倾斜。

11.一种显示设备，包括：

一个或多个微机电系统MEMS装置，其中所述一个或多个MEMS装置中的至少一个包含：

第一电极，包括部分反射性表面；

第二电极，包括部分反射性或全反射性表面，并且设置在所述第一电极的一侧上，基本平行于所述第一电极；以及

第三电极，设置在所述第一电极的相对侧上，基本平行于所述第一电极；

其中，当没有致动电压施加到所述第二或所述第三电极，所述第一电极处于在所述第二和第三电极之间的开始位置，以及，响应于所述致动电压有选择地施加到第三或第二电极，所述第一电极从所述开始位置可移动到在所述第二和第三电极之间的第一或第二位置，以引起所述MEMS装置分别输出第一波长的光的第一反射、不同于所述第一波长的第二波长的光的第二反射，或没有光的反射，

其中所述MEMS装置还包含设置在所述第二电极下方的反射率控制板，其中所述控制板包含反射板和设置成控制所述反射板的反射率的附加电极。

12.根据权利要求11所述的显示设备，进一步地包括：

致动电路，配置成选择性地施加所述致动电压到所述第二或第三电极，或保持来自所述第二和第三电极的所述致动电压。

13.根据权利要求11所述的设备，其中，所述第一电极的所述第一位置位于所述开始位置与所述第二电极之间，并且其中所述第二位置位于所述开始位置与所述第三电极之间。