[发明专利]包含有机镍化合物的化学沉积用原料及使用该化学沉积用原料的化学沉积法

权利要求书

1.一种化学沉积用原料，其用于通过化学沉积法来制造镍薄膜或镍化合物薄膜，其中，

所述化学沉积用原料包含由下式表示的有机镍化合物，其中，该有机镍化合物中环戊二烯基(Cp)或其衍生物、以及在环烷基的碳骨架中具有一个烯丙基的环烯基或其衍生物(X)与镍配位：

式中，X为在环烷基的碳骨架中具有一个烯丙基的环烯基，R₁至R₅为C_nH_2n+1，n＝0至6，且n为整数。

2.根据权利要求1所述的化学沉积用原料，其中，所述环烯基或其衍生物(X)是由下式表示的环丁烯基、环戊烯基、环己烯基、环庚烯基、环辛烯基、环壬烯基或它们的衍生物中的任一种：

其中R₆至R₆₅为C_nH_2n+1，n＝0至6，且n为整数。

3.根据权利要求1或2所述的化学沉积用原料，其中，对于环戊二烯基(Cp)衍生物，在环戊二烯基(Cp)的取代基(R₁至R₅)之中，一个为烷基，其余4个取代基为氢原子。

4.一种化学沉积法，其为将包含有机镍化合物的原料气化以作为原料气体，并且一边将所述原料气体导入基板表面一边加热的镍薄膜或镍化合物薄膜的化学沉积法，其中

作为所述原料，使用根据权利要求1至3中任一项所述的化学沉积用原料。