[发明专利]油扩散泵以及真空成膜装置

权利要求书

1.一种油扩散泵，在配置于壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作，由此使工作油气化而生成油蒸气，将该油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行排气动作，其特征在于，

所述油蒸气产生器具有：

容器，其在立起设置方向上延伸，使由被加热材料构成的筒部件的下端封闭，用于在其内部贮油；

发热体，其沿着筒部件的内壁面配置，且由被加热材料构成；

感应线圈，其缠绕于筒部件的周围；以及

供电单元，其对感应线圈施加数十Hz至数百Hz的低频交流电，

所述油蒸气产生器构成为，通过使所述供电单元工作，由此使所述发热体加热，从而使所述容器内的油气化。

2.根据权利要求1所述的油扩散泵，其中，

所述筒部件沿着其立起设置方向延伸，并且在周向上成为在隔着环状的中空部的两侧配置的筒状的内壁和外壁的双重结构，并且是沿着该内壁的真空侧即内壁面配置所述发热体并将所述感应线圈缠绕在所述内壁的周围即大气侧而构成的。

3.根据权利要求1或2所述的油扩散泵，其中，

所述感应线圈由进行了绝缘包覆的耐热电线构成。

4.一种真空成膜装置，其具有用于对真空腔室内抽真空的排气装置，其特征在于，

使用权利要求1或2所述的油扩散泵作为所述排气装置。

5.一种真空成膜装置，其具有用于对真空腔室内抽真空的排气装置，其特征在于，

使用权利要求3所述的油扩散泵作为所述排气装置。