[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

包含满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物、以及下述聚合物S的聚合物成分A，

(1)：包括具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元a1、以及具有交联性基的构成单元a2的聚合物，

(2)：包括具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元a1的聚合物、以及包括具有交联性基的构成单元a2的聚合物，

重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物S；

光酸产生剂B；以及

溶剂C，并且

所述聚合物S的固体酸值为180mgKOH/g～250mgKOH/g，并且由式a所表示的值为50～2000：

聚合物S的固体酸值×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的聚合物S的含有率··(a)

聚合物S的固体酸值的单位为mgKOH/g，相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的聚合物S的含有率的单位为质量％。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中相对于所有固体成分，聚合物S的含量为0.5质量％～20.0质量％。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中聚合物S为包括下述构成单元A组群的至少一个的聚合物：

构成单元A组群

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中具有交联性基的构成单元a2为能够与羧基进行反应的交联性基。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中具有交联性基的构成单元a2是选自具有选自环氧基及氧杂环丁基的至少一种的构成单元、以及具有由-NH-CH₂-O-R所表示的基团的构成单元中，R为氢原子或者碳数1～20的烷基。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其为正型。

7.一种硬化膜的制造方法，其包括：

将根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；

自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；

利用光化射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤；

利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及

对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。

8.根据权利要求7所述的硬化膜的制造方法，其中在所述进行显影的步骤后、所述后烘烤步骤前，包括对经显影的感光性树脂组合物进行全面曝光的步骤。

9.一种硬化膜，其是利用根据权利要求7或8所述的硬化膜的制造方法来形成。

10.根据权利要求9所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。

11.一种有机电致发光显示装置，其包括根据权利要求9或10所述的硬化膜。

12.一种液晶显示装置，其包括根据权利要求9或10所述的硬化膜。