[发明专利]光传感器

说明书

本申请以于2012年9月7日提出申请的日本专利申请号2012－197339号为基础，将其记载内容援引到本申请中。

技术领域

本申请涉及具有受光部、限定朝受光部入射的入射光的入射角度的限定部、以及选定入射光的波长的选定部的光传感器。

背景技术

以往，例如如专利文献1所示，提案有包括光电二极管、限制入射光相对于光电二极管的受光区域的入射角度的角度限制滤波器、以及透射入射光中的特定波长的光的光带通滤波器的光学传感器。角度限制滤波器由遮光物质形成，光带通滤波器由多层薄膜形成。角度限制滤波器形成在光电二极管上，光带通滤波器形成在角度限制滤波器上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011－203247号公报

发明内容

在专利文献1所公开的光学传感器中，角度限制滤波器由遮光物质形成，光带通滤波器由多层薄膜形成。角度限制滤波器与光带通滤波器分开形成，因此光学传感器的体型增大。

本申请的目的在于提供一种抑制了体型的增大的光传感器。

在本申请的一例中，光传感器具有受光部；限定部，限定朝受光部入射的入射光的入射角度；以及选定部，选定入射光的波长，其中，限定部以及选定部共有设置于受光部的上方的遮光膜。限定部具有形成于遮光膜的开口部，选定部具有设置在由开口部围成的区域内的、形成于遮光膜的狭缝。

据此，与限定部与选定部分开形成的结构相比，可抑制光传感器的体型的增大。

附图说明

图1是示出实施方式所涉及的光传感器的概要结构的剖视图。

图2是用于对光传感器的主要部分进行说明的剖视图。

图3是用于对开口部和狭缝进行说明的俯视图。

图4是用于对狭缝的变形例进行说明的剖视图。

图5是用于对狭缝的变形例进行说明的剖视图。

图6是用于对狭缝的变形例进行说明的俯视图。

具体实施方式

以下，在本申请中，基于附图对搭载于车辆的前风窗的情况下的实施方式进行说明。前风窗相当于透明板。基于图1～图3对本实施方式所涉及的光传感器进行说明。

光传感器100具有受光部10、限定部30以及选定部50。限定部30限定朝受光部10入射的入射光的入射角度，选定部50选定入射光的波长。光传感器100除了受光部10、限定部30和选定部50之外，还具有发光部70和收纳部80。如图1所示，收纳部80搭载于前风窗的内壁面，在由收纳部80和前风窗构成的收纳空间内设置有受光部10、限定部30、选定部50以及发光部70。经由前风窗、限定部30以及选定部50的车外的光以及从发光部70照射的光朝受光部10入射。

受光部10将由限定部30限定了入射角度且由选定部50选定了波长的入射光转换成电信号。受光部10是具有PN结的光电二极管，形成于半导体基板11的形成面11a。受光部10具有三个受光部12～14，受光部12～14各自的受光范围(能够检测的光的波段)不同。

限定部30具有：具有透光性的透光膜31；具有遮光性的遮光膜32；以及形成于该遮光膜32的开口部33。如图2所示，遮光膜32由第一膜32a、第二膜32b和第三膜32c构成，且按照上述顺序在形成面11a(受光部10)的上方隔开预定的间隔层叠。开口部33具有与受光部12～14分别对应的开口部34～36，如图2中用虚线箭头表示的那样，由开口部34～36限定的入射光的入射角度不同。此外，如图3中用虚线表示的那样，开口部34～36各自的开口面积也不同。

选定部50共有限定部30所具有的遮光膜32，且具有形成于该共有的遮光膜32的狭缝51。如上所述，第一膜32a、第二膜32b和第三膜32c在形成面11a的上方隔开预定的间隔层叠。选定部50与限定部30共有遮光膜32中的、离开形成面11a的第二膜32b和第三膜32c，在所共有的第二膜32b与第三膜32c上形成有狭缝51。

狭缝51位于由开口部33围成的区域内，具有与受光部12～14分别对应的狭缝52～54。由狭缝52～54选定的入射光的波长不同，第1狭缝52选定由发光部70照射的光中所主要包含的波段，第2狭缝53选定除了由发光部70照射的光中所主要包含的波段以外的波段。并且，第3狭缝54选定红外线。如图2所示，在第二膜32b和第三膜32c上分别形成第1狭缝52，在第三膜32c上形成狭缝53、54。