[发明专利]感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有机EL显示装置以及触摸屏显示装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于包括：

(成分A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，

(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，

(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；

(成分S)由下述式(S)表示、且具有至少1种酸基的分散剂；

(成分B)光酸产生剂；

(成分C)金属氧化物粒子；以及

(成分D)溶剂，

(式(S)中，R³表示(m+n)价的连结基，R⁴及R⁵分别独立地表示单键或二价的连结基，A²表示含有至少1种选自由有机色素结构、杂环结构、酸基、具有碱性氮原子的基、脲基、氨基甲酸酯基、具有配位性氧原子的基、烷氧基硅烷基、酚基、烷基、芳基、具有亚烷氧基链的基、酰亚胺基、烷氧基羰基、烷基氨基羰基、羧酸盐基、磺酰胺基、环氧基、异氰酸酯基及羟基所组成的群组的部分结构的一价的有机基，n个A²、R⁴可相同也可不同，m表示0～8，n表示2～9，m+n为3～10，P²表示高分子骨架，m个P²、R⁵可相同也可不同)。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，成分C为氧化钛粒子或氧化锆粒子。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述A²为含有至少1种酸基的一价的有机基。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述P²为丙烯酸树脂骨架。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，成分A含有满足所述(1)的聚合物。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包括(成分E)交联剂。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其还包括(成分F)抗氧化剂。

8.一种硬化物的制造方法，其至少依次包括步骤(a)～步骤(c)：

(a)涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上；

(b)溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂；以及

(c)热处理步骤，对去除了溶剂的树脂组合物进行热处理。

9.一种树脂图案制造方法，其至少依次包括步骤(1)～步骤(5)：

(1)涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的涂布步骤；

(2)溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂的溶剂去除步骤；

(3)曝光步骤，利用光化射线将去除了溶剂的树脂组合物曝光成图案状；

(4)显影步骤，利用水性显影液对经曝光的树脂组合物进行显影；以及

(5)热处理步骤，对经显影的树脂组合物进行热处理。

10.一种硬化物，其是通过根据权利要求8所述的硬化物的制造方法或根据权利要求9所述的树脂图案制造方法而获得。

11.一种硬化膜，其是使根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而形成。

12.根据权利要求11所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。

13.一种液晶显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。

14.一种有机电致发光显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。

15.一种触摸屏显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。