[实用新型]一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域，特别是涉及一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道。

背景技术

多晶硅电池的生产中，需要经过制绒、扩散、湿法刻蚀、PECVD沉积SiN_x、丝网印刷和烧结等步骤，制绒是通过酸或者碱溶液的腐蚀在硅片表面形成起伏不平的绒面，增加吸光面积，减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率，是太阳能电池片生产的首个工序，其目的主要是：1、去除硅片表面的机械损伤层；2、清除表面油污和金属杂质；3、形成起伏不平的绒面，增加吸光面积，减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。其主要是通过HNO₃、HF制绒、冲洗、KOH腐蚀、冲洗、HF、HCl清洗等处理。该工序通过对腐蚀前后的硅片进行称重以计算出硅片被腐蚀掉的深度，以此来控制和监视该工序的稳定性。制绒完成后，进行扩散和湿法刻蚀，湿法蚀刻主要是通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的PN结以达到正面与背面绝缘的目的，同时去除正面的磷硅玻璃层，便于后续工艺的进行。湿法刻蚀工艺和制绒设备以及原理相似。

在生产中，制绒和湿法刻蚀的设备为链式循环系统，多为四轨道到八轨道不等，滚轮固定在轨道上，旋转带动硅片移动，硅片通过上下滚轮的传动分别经过各腐蚀液和清洗槽，硅片从一端进入，从另一端卸下，完成整个流程。但是，由于滚轮固定在轨道上，目前在经过各工序腐蚀后，在太阳电池表面会呈现两道或者几道颜色差异较大的印痕。这是因为，硅片经过各腐蚀液后，滚轮位置和硅片接触，从而影响了该位置的腐蚀量，因此该位置在后续沉积氮化硅膜时沉积的厚度会和其他位置产生差异，从而产生太阳电池表面颜色差异相对较大的印痕，影响太阳能电池的质量，为了提高太阳电池的质量，同时保持太阳能电池外观平整无印痕，满足客户对电池质量和外观的需要，消除太阳电池表面的滚轮印痕是本领域函待解决的技术问题。

具体来讲，现有技术中，硅片在经过制绒或者湿法刻蚀时采用的链式循环系统，如图1和图2所示的传动硅片装置，在滚轮位置套上“O圈”和传动轴一体构成硅片的传输装置，使硅片从设备装载区经过各腐蚀槽经过化学腐蚀后从卸载区卸下。由于滚轮和传动轴一体，滚轮均匀排布在传动轴上，传动时，不同传动轴上的滚轮位置处于同一水平线上，且位置不能变动，在各个化学腐蚀液中硅片和滚轮接触较多，导致该处相对其它位置腐蚀量较小，在经过后续氮化硅膜沉积后因为硅片表面腐蚀的程度不同，硅片表面的氮化硅膜沉积厚度将会产生差异，影响太阳能电池片的质量，并且还会造成颜色上与其他区域存在一定的差异，此时便会出现太阳电池表面的滚轮印痕，影响了太阳能电池片的质量和外观。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种可以消除太阳电池表面的滚轮印痕的链式设备传输轨道。

为实现上述实用新型目的，本实用新型所提供的技术方案如下：

一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，包括杆状的传动轴和由传动轴带动旋转的滚轮，且所述滚轮在传动轴上的位置可调节，所述传动轴设置有轴向的卡槽，所述滚轮包括环状轮和设置在环状轮内侧的卡合部，所述卡合部卡合安装在卡槽内。

进一步地，所述卡槽贯穿整个传动轴，所述卡合部可在卡槽内轴向移动。

进一步地，所述卡槽为3个，均匀设置在传动轴外周，所述滚轮上的卡合部也对应设置有3个。

进一步地，所述卡槽为外侧长度小于内侧长度的梯形结构，所述卡合部为内侧长度大于外侧长度的梯形结构。

进一步地，所述每个传动轴上的滚轮至少为两个。

进一步地，所述传动轴为并列排布的多个。

进一步地，所述不同传动轴上的滚轮交错设置，且能保证滚轮上的硅片的平稳运行。

进一步地，所述滚轮外周圆滑。

采用上述技术方案，本实用新型的有益效果有：

通过设计滚轮位置可以任意调整的传输轨道，使各轨道滚轮处于不同的直线上，避免硅片从设备装载区到卸载一端滚轮一直处于硅片上相对固定的位置，使硅片各处都能受到均匀腐蚀，避免了太阳电池表面滚轮印痕的产生，提高了电池的性能和外观质量。

附图说明

图1为本实用新型现有技术结构示意图；

图2为图1中的传动轴截面图；

图3为本实用新型结构示意图；

图4为图3中的传动轴侧视图；

图5为图3中的滚轮侧视图。

其中：1…传动轴，2…滚轮，3…卡槽，4…卡合部，5环状轮。