[实用新型]一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道有效
| 申请号： | 201320799194.7 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203644743U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张小盼;赵强;赵学玲;范志东 | 申请（专利权）人： | 保定天威英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王淑丽 |
| 地址： | 071051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 生产 链式 设备 传输 轨道 | ||
1.一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，包括杆状的传动轴和由传动轴带动旋转的滚轮，且所述滚轮在传动轴上的位置可调节，所述传动轴设置有轴向的卡槽，所述滚轮包括环状轮和设置在环状轮内侧的卡合部，所述卡合部卡合安装在卡槽内。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述卡槽贯穿整个传动轴，所述卡合部可在卡槽内轴向移动。
3.根据权利要求1或2所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述卡槽为3个，均匀设置在传动轴外周，所述滚轮上的卡合部也对应设置有3个。
4.根据权利要求3所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述卡槽为外侧长度小于内侧长度的梯形结构，所述卡合部为内侧长度大于外侧长度的梯形结构。
5.根据权利要求4所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述每个传动轴上的滚轮至少为两个。
6.根据权利要求5所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述传动轴为并列排布的多个。
7.根据权利要求6所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述不同传动轴上的滚轮交错设置，且能保证滚轮上的硅片的平稳运行。
8.根据权利要求7所述的用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道，其特征在于，所述滚轮外周圆滑。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
