[实用新型]一种分体式多用硅片承载器

权利要求书

1.一种分体式多用硅片承载器，包括一对竖向的挡板和两端分别连接在挡板上的支承杆，所述支承杆主要由位于底部的底杆与位于其上方的侧杆组成，所述侧杆具有用于插接硅片的卡槽，其特征在于：所述侧杆至少为两对且沿着挡板的竖向排布，每对中的两个侧杆分设在挡板的两侧，所述侧杆的两端与挡板之间通过调节机构相连，所述侧杆通过调节机构可沿着挡板的横向移动并定位以调节每对侧杆之间的距离从而实现承载不同型号的硅片。

2.根据权利要求1所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述调节机构主要由安装孔与固定部件组成，所述安装孔开设在所述挡板上，所述安装孔为沿挡板横向延伸的长形孔，所述侧杆的两端穿过安装孔并可沿着安装孔移动并由固定部件固定，实现每对侧杆间距可调。

3.根据权利要求2所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述安装孔延伸至挡板的侧边沿上形成断口，使侧杆可从该断口进行拆装。

4.根据权利要求1～3任一项所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述底杆与所述挡板为可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述挡板的边缘上设有用于与清洗设备相连的卡口，其中一个挡板的中部开有与甩干设备相固定的固定孔，该挡板的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的浅口槽，另一个挡板的上边缘具有与清洗设备或者甩干设备相配合的深口槽。

6.根据权利要求5所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述挡板的上部两侧开设有用于搬运的操作孔。

7.根据权利要求6所述的分体式多用硅片承载器，其特征在于：所述侧杆采用螺杆，所述螺杆相邻螺纹之间的凹槽作为所述卡槽。