[实用新型]一种真空镀膜机

权利要求书

1.一种真空镀膜机，包括真空罩（1）和用于使真空罩（1）内部保持真空状态的真空系统，所述真空罩（1）内设置有伞架（2）和蒸发源（3），其特征在于，所述伞架（2）包括能够周向转动的转盘（21）和若干个工件架（22），所述工件架（22）分别与转盘（21）通过各自转轴一（4）相连，所述工件架（22）沿转盘（21）周向呈伞状分布，本真空镀膜机还包括能使工件架（22）随着转盘（21）周向转动的同时绕转轴一（4）的中心线转动的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述驱动机构包括锥齿齿盘（5）和驱动电机（6），所述锥齿齿盘（5）与真空罩（1）固定连接，所述驱动电机（6）通过传动副与转盘（21）相连，所述转轴一（4）端部分别设置有与上述锥齿齿盘（5）配合的锥齿轮（7）。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述驱动机构包括摩擦轨道（8）和驱动电机（6），所述摩擦轨道（8）周向分布在真空罩（1）内壁，所述驱动电机（6）通过传动副与转盘（21）相连，所述工件架（22）另一端设置有与转轴一（4）中心线位于同一直线上的转轴二（9），上述转轴二（9）的端部固连有摩擦轮（10），上述摩擦轮（10）能在所述摩擦轨道（8）内滚动使基板绕转轴一（4）和转轴二（9）中心线转动。

4.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述真空罩（1）还设置有支架（11），上述支架（11）与真空罩（1）轴向和径向定位并能够绕所述转盘（21）中心线转动，所述工件架（22）的底部分别可拆连接于所述支架（11）上，所述支架（11）与工件架（22）对应的位置具有让位开口（111）。

5.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述蒸发源（3）包括蒸发舟（31）和电源，所述蒸发舟（31）的舟体两端分别具有电极（311），上述电极（311）分别与电源的正负极接通，所述舟体上还具有辅助加热片（312），上述辅助加热片（312）与舟体形成用于放置蒸发原料的容纳空间（313），所述辅助加热片（312）底部部分或者全部与所述舟体相连，所述舟体和辅助加热片（312）均采用导电材料制成。

6.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工件架（22）相对于转盘（21）的倾斜角度为小于90°。

7.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工件架（22）的表面呈扇形。

8.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工件架（22）的表面呈矩形。

9.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工件架（22）的表面具有低粘度的Pe膜片。

10.根据权利要求1或2或3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工件架（22）为多面体结构，所述工件架（22）上具有多个用于装载原料的载料面（221）。