[实用新型]一种真空低温泵中的组合冷板

说明书

技术领域：

本实用新型涉及真空低温泵的技术领域，更具体地说涉及一种真空低温泵中结构改进的组合冷板。

背景技术：

低温泵，又称冷凝泵，是利用低温表面冷凝气体的真空泵。其可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。而作为其冷凝气体所用的冷板则是其关键的部件。现有的低温泵的二级冷板内一般设有一个阵列组合的冷板来增加冷凝空气的目的，现有的阵列组合的冷板如图1所示，其顶板1和阵列板2通过螺栓8固定在冷板支架3上，现有的冷板支架3的侧壁一般较薄，其上的螺纹的牙一般较少，同时其冷板支架3一般采用紫铜制成，铜材材质较软，所以其螺栓8易发生滑丝，从而顶板1和阵列板2未能稳固的固定在冷板支架3上。

实用新型内容：

本实用新型的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种结构改进的真空低温泵中的组合冷板，其够有效地将阵列板和顶板固定在冷板支架上。

为实现上述目的，本实用新型的真空低温泵中的组合冷板包括有顶板和阵列板，其中，阵列板的中心成型有贯穿的槽孔，槽孔相对侧边的阵列板上成型有纵向的固定板，所述的阵列板插套在冷板支架上，阵列板的固定板靠在冷板支架的两侧板上，阵列板的固定板和冷板支架的侧板插接有两组相对的弯管，弯管的中部横管压靠在固定板上，两组弯管上相对的一端分别螺接在连接管的两端，连接管固定有与连接管相连通的进液管，进液管上端穿过冷板支架的上板和冷板的顶板并螺接有螺母，顶板通过螺母固定在冷板支架上。

作为上述技术方案的优选，所述的连接管上成型有贯穿连接管外壁的螺纹孔，进液管上成型有外螺纹，连接管螺接在进液管上，进液管成型有沉孔与连接管相连通。

作为上述技术方案的优选，所述的连接管两端的管内壁上成型有螺旋方向相反的螺纹，弯管两端成型有外螺纹，相对的弯管的外螺纹为螺旋方向相反的螺纹。

作为上述技术方案的优选，所述的阵列板的固定板上成型有通孔，弯管两侧的竖管穿插在固定板的通孔内。

本实用新型的有益效果在于：其利用弯管和进液管来固定连接顶板和阵列板，有效的将阵列板和顶板固定在冷板支架上避免了螺栓滑丝而致使顶板和阵列板从冷板支架脱落的现象。另外，其进液管可以与压缩机相连通，从而增加冷板冷却降温的速度，从而提高了冷凝空气的速度。

附图说明：

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：

图1为现有的组合冷板的结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型换角度的结构示意图；

图4为本实用新型的阵列板的结构示意图。

图中符号说明：

1－顶板；2－阵列板；3－冷板支架；4－弯管；5－连接管；6－进液管；7－螺母；8－螺栓；21－槽孔；22－固定板；23－通孔。

具体实施方式：

以下所述仅为体现本实用新型原理的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

见图2至图4所示：本实用新型的一种真空低温泵中的组合冷板包括冷板的顶板1和阵列板2，阵列板2的中心成型有贯穿的槽孔21，槽孔21相对侧边的阵列板2上成有纵向的固定板22；阵列板2插套在‘匚’字形的冷板支架3上，阵列板2的固定板22的靠在冷板支架3的两侧板上，阵列板2的固定板22和冷板支架3的侧板插接有两组相对的‘匚’字形的弯管4，弯管4的中部横管压靠在固定板22上；两组弯管4上相对的一端分别螺接在连接管5的两端，连接管5固定有与连接管5相连同的进液管6，进液管6的上端穿过冷板支架3的上板和冷板的顶板1螺接有螺母7，顶板1通过螺母7固定在冷板支架3上。

连接管5上成型有贯穿连接管5外壁的螺纹孔，所述的进液管6上成型有外螺纹，所述的连接管5螺接在进液管6上，进液管6成型有沉孔与连接管5相连通。

连接管5两端的管内壁上成型有螺旋方向相反的螺纹，弯管4的两端成型有外螺纹，相对的弯管4的外螺纹为螺旋方向相反的螺纹。

阵列板2的固定板22上成型有通孔23，弯管4两侧的竖管穿插在固定板22的通孔23内。

本实用新型的工作原理如下:装配时，弯管4穿插在阵列板2和冷板支架3上，两弯管4上螺纹接有连接管5，通过连接管5旋转能够减小相对的两弯管4之间的距离，从而能够将阵列板2稳固的固定在冷板支架3上，使其不容易脱落，利用进液管6连通弯管4，再将进液管6连接压缩机，从而能使低温的冷却气体进过阵列组合的冷板上，增加冷板冷却降温的速度，从而提高了冷凝空气的速度。