[实用新型]磷扩散的硅片承载装置

说明书

技术领域

本实用新型具体涉及一种磷扩散的硅片承载装置。

背景技术

现有的硅片在进行磷扩散处理时，将多个硅片装载在石英舟上，而相邻硅片之间夹有纸源，再将石英舟推入石英管内，并放置在扩散炉内，对硅片实施磷扩散。由于高浓度纸源在400℃左右时开始燃烧分解，在未达到扩散温度之前，纸源的残留物将会融化成为粘性液体，并沿着硅片渗流到石英管的内壁上，在磷扩散的降温过程中，随着扩散炉内的温度逐渐降低，石英管内壁上的粘性液体也逐渐冷却，此时，石英管与石英舟的接触面上，且被粘性液体覆盖的部分就会牢牢黏在一起，为了将石英舟从石英管内取出，需要用石英棒敲击石英管与石英舟的接触面，在这个过程中，既会损伤石英舟和石英管，也会碰触到磷扩散后的硅片，使得硅片破损，这不仅增加了生产成本，也增加了废品率。

发明内容

本实用新型的目的是：提供一种结构简单，硅片易于与石英管相分离，且生产成本较低的磷扩散的硅片承载装置，以克服现有技术的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案：一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟，而其：还包括两端有端侧板的石英托架，且石英托架的底部呈圆弧形结构而形成沉腔，在沉腔的底外表面有分开布置的支脚，所述石英舟设在石英托架的沉腔内，且石英舟的上沿口高出石英托架的上沿口。

在上述技术方案中，所述石英托架的侧端部有与其互为一体的把手。

在上述技术方案中，所述石英托架的支脚有6个，每组3个支脚分别沿石英托架的两侧长度方向分开布置。

本实用新型所具有的积极效果是：由于采用上述承载装置后，使用时，将硅片放置在石英舟内，相邻的硅片之间有纸源，然后将本实用新型推入石英管内，由于石英舟的上沿口高出石英托架的上沿口，阻挡了纸源高温产生的粘性液体流入石英托架内，而石英托架底部的支脚与石英管内壁接触，这样就减少了两者的接触面积，便于将扩散后的承载装置从石英管内取出，这样既不会损伤石英舟和石英管，也不会碰触到磷扩散后的硅片，有效降低了生产成本，确保了制品的质量，本实用新型结构简单，可反复使用。实现了本实用新型的目的。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图2的A-A剖视图；

图4是图2的右视图。

具体实施方式

以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。

如图1、2、3、4所示，一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟1，而其：还包括两端有端侧板2-3的石英托架2，且石英托架2的底部呈圆弧形结构而形成沉腔2-1，在沉腔2-1的底外表面有分开布置的支脚2-2，所述石英舟1设在石英托架2的沉腔2-1内，且石英舟1的上沿口高出石英托架2的上沿口。

如图1、2、4所示，为了便于将本实用新型推入或取出石英管，所述石英托架2的侧端部有与其互为一体的把手3。

如图1、4所示，所述石英托架2的支脚2-2有6个，每组3个支脚2-2分别沿石英托架2的两侧长度方向均匀分开布置。

本实用新型小试效果显示，使用时，将硅片放置在石英舟1内，且相邻的硅片之间夹有纸源，操作人员手持把手3，将本实用新型推入石英管内，然后再将石英管送至扩散炉内，对硅片实施磷扩散；由于石英托架2的底部的六个支脚2-2与石英管直接接触，减少了两者的接触面积，便于与石英管相分离，既不会损伤石英舟和石英管，也不会碰触到磷扩散后的硅片，有效降低了生产成本；又由于石英舟1的上沿口高出石英托架2的上沿口，因此，阻挡了纸源高温产生的粘性液体流入石英托架2内；实现了本实用新型的初衷。