[实用新型]一种质谱检漏仪的组合阀体装置

权利要求书

1.一种质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：包括阀体，所述阀体的内部开设有用于气体泄漏检测的粗检气体通路、用于气体泄漏检测的精检气体通路，以及用于安装切换组件的安装口，所述切换组件用于所述粗检气体通路和所述精检气体通路之间的切换。

2.根据权利要求1所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述阀体为组合阀体，所述组合阀体包括第一阀体（100）、第二阀体（200）以及将所述第一阀体（100）和所述第二阀体（200）密封连接的密封固定组件。

3.根据权利要求2所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第一阀体（100）的内部开设有第一粗检气体通路和第一精检气体通路，所述第二阀体（200）的内部开设有第二粗检气体通路和第二精检气体通路，所述第一粗检气体通路和所述第二粗检气体通路连通形成所述粗检气体通路，所述第一精检气体通路和所述第二精检气体通路连通形成所述精检气体通路。

4.根据权利要求2或3所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第一阀体（100）上设有检漏口（10），所述检漏口（10）处适于安装待检部件，所述检漏口（10）通过开设在所述第一阀体（100）内部的连接管路与第一粗检气体通路和第一精检气体通路分别连通。

5.根据权利要求4所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第二阀体（200）内设有用于安装分子泵（2）和质谱室（1）的中间口（21），所述中间口（21）分别与所述第二粗检气体通路和第二精检气体通路连通。

6.根据权利要求5所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述切换组件包括安装在所述粗检气体通路上的用于控制所述检漏口（10）与所述中间口（21）通断的第一预抽阀（5），以及安装在所述精检气体通路上的用于控制所述检漏口（10）与中间口（21）通断的第一中间阀（11）。

7.根据权利要求6所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述切换组件还包括在所述粗检气体通路上与所述第一预抽阀（5）并联设置的第二预抽阀（6），以及在所述精检气体通路上与所述第一中间阀（11）并联设置的第二中间阀（12）。

8.根据权利要求7所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述切换组件还包括安装在所述粗检气体通路上的前级阀（3），所述前级阀（3）位于所述中间口（21）与所述第一预抽阀（5）之间的通路上。

9.根据权利要求8所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述第二阀体（200）的内部设置有用于安装机械泵（4）的机械泵连接口（41），所述前级阀（3）位于所述机械泵（4）与所述质谱室（1）之间的通路上。

10.根据权利要求9所述的质谱检漏仪的组合阀体装置，其特征在于：所述连接管路上设置放气阀（9）。