[实用新型]一种基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，至少包括具有一第一收容空间的本体、风循环系统和用于固定基板的固定模块，所述固定模块可与所述本体分离地收容于所述本体的第一收容空间内，所述风循环系统设置于所述本体内，所述固定模块至少包括一第二顶部，所述第二顶部上设置有多个便于风通过的第一通孔。 

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：所述本体还包括第一顶部及第一侧壁，所述风循环系统至少包括鼓风模块、加热模块及风道，所述第一顶部及第一侧壁均呈内部中空状，且所述第一顶部及第一侧壁的内部中空部分相连通形成所述风道，所述鼓风模块设置于所述第一顶部上且收容于所述第一顶部的中空部分；所述加热模块设置于所述第一侧壁上且收容于所述第一侧壁的中空部分。 

3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于：所述本体还包括第一底部，所述第一底部与所述第一顶部平行相间设置并通过所述第一侧壁相连接，形成所述第一收容空间；所述第一侧壁靠近所述第一底部的一端内侧设有一第一开口。 

4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于：所述固定模块还包括具有多个第二收容空间的支撑件及第二底部，所述第二顶部与所述第二底部相互平行相间设置且通过所述支撑件相连接，所述第一通孔位于所述第二顶部上与所述多个第二收容空间相对的位置处，所述第二底部上与所述多个第二收容空间相对的位置处设有多个第二开口，多个所述第二开口在所述第二底部或第二顶部上的投影被所述多个第二开口在所述第二底部或第二顶部上的投影所覆盖。 

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于：所述固定模块收容于所述第一收容空间后，所述第一顶部与所述第二顶部之间相互平行相间，所述第二底部与所述第一底部之间相互平行相间，所述支撑件与所述第一侧壁上各处之间具有相同的间距，所述第二底部上任意一处与所述第一底部之间的间距大于或等于所述第一开口的任意一处与所述第一底部之间间距。 

6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于：所述加热模块设置于所述第一侧壁靠近所述第一顶部的一端，其在所述第一顶部上的投影呈一矩形环状，所述第一侧壁由四个整体呈长方体形的矩形块首尾相接形成，所述本体和固定模块均呈长方体形，所述第一收容空间亦成长方体形。 

7.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于：所述第一开口在所述第一底部上的投影呈矩形环状。 

8.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于：所述第一顶部和第一底部具有相同的大小和形状，第二顶部和第二底部具有相同的大小和形状。