[实用新型]一种三轴电容式加速度传感器

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种加速度传感器，尤其是指一种电容式加速度传感器。

背景技术

加速度传感器是将加速度、震动、冲击等物理现象所产生的压力转变成便于测量的电信号的测试仪器。电容式加速度传感器是将被测量的加速度变化转换为电容变化量的一类传感器，因为具有测量精度高，输出稳定，温度漂移小等优点而得到广泛应用。

通常，大多数的电容式加速度计只能检测一个或两个轴向的加速度，而在很多应用中需要检测加速度矢量。目前有采用在同一衬底上制作三轴电容式加速度传感器，如果芯片内部采用一个惯性质量，通常具有较高的偏轴灵敏度及沿不同轴向的灵敏度差别较大；如果芯片内部采用三个惯性质量，为了克服芯片内部结构在制作和实用中产生的粘附效应而采用的工艺也使得器件的制作较为复杂。另外，同一衬底上的三轴电容式加速度传感器，一旦传感器只要在某一轴向出现检测失效，整个传感器就无法使用。

实用新型内容

本实用新型解决了上述技术问题，提供一种三轴电容式加速度传感器。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种三轴电容式加速度传感器，其特征在于：包括上盖、底座、传感芯片，所述的底座由三个面组成，底座的内部设有架子，所述的传感芯片有三个，分别安装在底座内的架子上，所述的三个传感芯片之间相互垂直。

进一步的，所述的一种三轴电容式加速度传感器还包括一串口插座，所述的串口插座固定在底座的侧面上，并与传感芯片连接。

进一步的，所述的上盖由三个面组成，固定在底座上。

采用本实用新型的方案的有益效果：

1、把三块单轴电容式加速度传感器芯片安装在同一底座的三个互相垂直面上；可检测加速度矢量，有效抑制偏轴灵敏度，控制不同轴向灵敏度的一致性；单轴传感器芯片制作，无需太复杂的工艺，即可克服粘附效应，提高产品可靠性；各轴向传感器芯片可灵活使用，一旦出现问题，只需更换相应芯片；

2、采用串口插座，代替定制的连接器，提高接口通用性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的串口插座示意图；

图3是本实用新型的底座结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，对本实用新型做进一步说明。

    图1、图2、图3所示一种三轴电容式加速度传感器，包括上盖1、底座3、传感芯片4和串口插座2，底座3由三个面组成，底座3的内部设有架子，传感芯片4有三个，分别安装在底座3的架子上，三个传感芯片4之间相互垂直，串口插座2固定在底座3的侧面上，并与传感芯片4连接，上盖1由三个面组成，固定在底座3上，传感器安装在待测物体上，待测物体产生加速度，各轴向传感芯片感测到加速度，并把加速度转化成相应的电信号，采用串口插座向外输出。

尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内，在形式上和细节上对本实用新型做出各种变化，均为本实用新型的保护范围。