[实用新型]一种湿法刻蚀机

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能应用设备技术领域，特别涉及一种湿法刻蚀机。 

背景技术

随着世界范围内能源危机的爆发，风力和太阳能等可再生能源得到越来越广泛的应用，从而带动了可再生能源发电系统的蓬勃发展。在众多的可再生能源中，太阳能分布较为广泛，且从我国的地理分布情况来看，我国大部分地区的太阳能辐射量都比较丰富，因此，太阳能的开发和应用更为便捷。 

太阳能电池是人们利用太阳能的一种主要方式，其主要部件是太阳能电池片。太阳能电池片是由硅片经过表面制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷烧结等工艺过程制备而成。其中，刻蚀工艺是太阳能电池片制造过程中的一个重要工序，目的是去除硅片下表面及四个侧面的PN结，以达到上下表面绝缘的目的，同时去除上表面的磷硅玻璃层。 

当前太阳能电池制造时常用的一种刻蚀方法是湿法刻蚀，通过化学试剂腐蚀掉硅片下表面及四个侧面的PN结和磷硅玻璃层，湿法刻蚀机为太阳能电池湿法刻蚀的重要设备。 

请参考图1，图1为一种典型的湿法刻蚀机的结构示意图。 

一种典型的湿法刻蚀机包括刻蚀槽11和设置在刻蚀槽11旁侧的溢流槽12，刻蚀槽11与溢流槽12之间设置有挡板13，湿法刻蚀工艺主要是在该刻蚀槽11内进行的，刻蚀槽11和溢流槽12内均设置有多根平行的滚轮14，刻蚀槽11内注满氢氟酸、硝酸和硫酸的混合药液；待加工的第一硅片151在滚轮14带动下经过刻蚀槽11，当第一硅片151经过刻蚀槽11与溢流槽12之间的挡板13时，第一硅片151脱离药液，此时，会在第一硅片151后边缘与挡板13之间飞溅出药液滴16，所述药液滴16如果溅落到后边的第二硅片152的表面，就会形成不合格片。 

为了保证产品合格率，需要人工在湿法刻蚀后挑选出此类不合格片，再对这些不合格片进行重新处理，即重新经过制绒、扩散，再经过湿法刻蚀，不仅浪费人力，且增加了生产成本，降低了生产效率。 

因此，避免在湿法刻蚀的过程中溅出的药液溅落在硅片上，从根本上提高产品合格率，同时节约人力资源，降低生产成本，提高生产效率，就成为本领域技术人员亟需解决的问题。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种湿法刻蚀机，其能够避免溅出的药液溅落在硅片上，从而从根本上提高了产品合格率，同时省去了人工选片过程，节约了人力资源，进而降低了生产成本，提高了生产效率。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种湿法刻蚀机，包括刻蚀槽和与所述刻蚀槽通过挡板分隔的溢流槽，所述刻蚀槽与所述溢流槽内均设置有承载硅片的滚轮；还包括设置于所述挡板上方的盖板，所述盖板固定于所述滚轮的支架，且其下表面与所述挡板的上沿具有预定距离。 

优选地，还包括安装架，所述盖板通过所述安装架固定于所述支架。 

优选地，所述安装架在垂直于所述硅片运动方向上的长度，等于所述支架在该方向上的宽度，且所述安装架以其两端固定于所述支架。 

优选地，所述安装架的两端部分别开设有螺纹孔，并通过螺栓与所述支架固定连接。 

优选地，所述安装架在垂直于所述硅片运动方向上的长度，大于所述盖板在该方向上的长度。 

优选地，所述盖板在垂直于所述硅片运动方向上的长度，等于所述挡板在该方向上的长度。 

优选地，所述安装架的下沿焊接于所述盖板的上表面。 

本实用新型所提供的湿法刻蚀机包括刻蚀槽、溢流槽、挡板、滚轮和盖板，其中，刻蚀槽内盛满反应药液，且通过挡板与溢流槽相分隔，刻蚀槽与溢流槽内均设置有承载硅片的滚轮，通过滚轮的转动传 输硅片，盖板设置于挡板的上方，该盖板固定于滚轮的支架上，且其下表面与挡板的上沿具有预定距离。这样，在刻蚀工艺进行过程中，硅片通过挡板时溅起的药液会被盖板挡住，盖板阻挡了溅起的药液溅落在后续的硅片上，从而减少了不合格片的产生，从根本上保证了硅片加工的合格率，不仅节省了挑拣不合格片的人工，还节约了不合格片处理时所需的成本，并提高了生产效率。 

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的湿法刻蚀机还包括安装架，盖板通过安装架固定于支架，以便提高盖板的安装可靠性，降低安装难度。 

在另一种优选的实施方式中，本实用新型所提供安装架的两端部分别开设有螺纹孔，并通过螺栓与支架固定连接；这样，螺纹连接能够在需要维护和清洗盖板时，轻松地将盖板从滚轮的支架上拆下，从而简化了盖板的拆装过程，节约了盖板的维护和清洗时间，提高了工作效率。 

附图说明

图1为一种典型的湿法刻蚀机的结构示意图； 

图2为本发明所提供的湿法刻蚀机一种具体实施方式的结构示意图；