[实用新型]一种基板检查装置及系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器制造领域，尤其涉及一种基板检查装置及系统。

背景技术

在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)的制造过程中，检查设备需要对基板进行检查，以保证显示装置的良品率。

当前主流的基板检查设备通常分为两种：在线检查设备和离线检查设备。在线检查是在制造显示面板的过程中对基板进行检查，能够及时发现产品品质的异常，并作出调整；离线检查是在显示面板制造完成后对基板进行检查，用于产品的品质测试。其中，在线检查设备包括一个检查岛，该检查岛与基板生产设备相连接。一个在线检查设备能够与多条基板生产设备相连接，基板从产线上通过机械手臂或者传送带传输到在线检查设备上进行检查，检查完毕后再以相同的路线返回产线，不需要单独的控制装置。而离线检查设备可以作为一个设备单独使用，包括一个检查岛，以及与传送装置相连的端口。基板以CST(Cassette，暗盒)的形式进行检查，检查完毕后再以CST的形式整体进行传输，并且，离线检查设备需要单独的控制装置对其进行控制。

然而，在实际应用的过程中，通常需要在线检查设备和离线检查设备共同工作，这样，就需要投入至少一台在线检查设备和至少一台离线检查设备，不仅影响了设备的稼动率，而且增加了成本，不利于后期的管理和维护。其中，稼动率是指设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比重，是一台机器设备可能的生产数量与实际生产数量的比值。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种基板检查装置及系统，能够使一台基板检查装置同时实现在线检查和离线检查，提高了设备的稼动率，同时降低了成本，并且有利于后期的管理和维护。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供一种基板检查装置，包括：

检查单元；

与所述检查单元连接，用于传送已制作完成的基板和未制作完成的基板的基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括传送主体，设置于所述传送主体上方的存储装置，所述传送主体上设置有多个导孔，在所述传送主体下方对应所述导孔设置有具有可伸缩机械臂的搬运装置，所述机械臂可以穿过所述导孔并可沿传送方向运动；

与所述基板传送装置连接，用于传送已制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第一传送单元；以及

与所述基板传送装置连接，用于传送未制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第二传送单元。

所述第二传送单元与外部生产线连接。

所述存储装置包括用于存储已制作完成的基板的第一缓冲单元，以及用于存储未制作完成的基板的第二缓冲单元。

所述传送主体包括皮带传送带或者滚轮传送带。

所述检查单元，具体包括：

与所述基板传送装置连接的，用于搬运所述已制作完成的基板和未制作完成的基板的搬运单元；

与所述基板传送装置连接的，用于检查所述已制作完成的基板和未制作完成的基板的至少一个检测器。

所述搬运单元具体为机械手臂。

本实用新型实施例还提供一种基板检查系统，包括具有上述任一特征的基板检查装置，以及与所述基板检查装置相连的至少一台控制装置。

本实用新型实施例所提供的基板检查装置及系统，基板检查装置包括检查单元，与检查单元连接，用于传送已制作完成的基板和未制作完成的基板的基板传送装置，其中，基板传送装置包括传送主体，设置于传送主体上方的存储装置，传送主体上设置有多个导孔，在传送主体下方对应导孔设置有具有可伸缩机械臂的搬运装置，机械臂可以穿过导孔并可沿传送方向运动，与基板传送装置连接，用于传送已制作完成的基板至检查单元的至少一个第一传送单元，以及与基板传送装置连接，用于传送未制作完成的基板至检查单元的至少一个第二传送单元。通过该方案，通过基板传送装置将用于传送已制作完成的基板至检查单元的至少一个第一传送单元，以及用于传送未制作完成的基板至检查单元的至少一个第二传送单元与检查单元相连，使一台基板检查装置同时实现在线检查和离线检查，提高了设备的稼动率，同时降低了成本，并且有利于后期的管理和维护。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的基板检查装置的结构示意图一；