[实用新型]一种基板检查装置及系统有效
| 申请号： | 201320101104.2 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN203287648U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王野;李圭铉;余道平;古成 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;B65G49/06;B65G47/90;B65G47/52 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检查 装置 系统 | ||
1.一种基板检查装置，其特征在于，包括：
检查单元；
与所述检查单元连接，用于传送已制作完成的基板和未制作完成的基板的基板传送装置，其中，所述基板传送装置包括传送主体，设置于所述传送主体上方的存储装置，所述传送主体上设置有多个导孔，在所述传送主体下方对应所述导孔设置有具有可伸缩机械臂的搬运装置，所述机械臂可以穿过所述导孔并可沿传送方向运动；
与所述基板传送装置连接，用于传送已制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第一传送单元；以及
与所述基板传送装置连接，用于传送未制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第二传送单元。
2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述第二传送单元与外部生产线连接。
3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述存储装置包括用于存储已制作完成的基板的第一缓冲单元，以及用于存储未制作完成的基板的第二缓冲单元。
4.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述传送主体包括皮带传送带或者滚轮传送带。
5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述检查单元，具体包括：
与所述基板传送装置连接的，用于搬运所述已制作完成的基板和未制作完成的基板的搬运单元；
与所述基板传送装置连接的，用于检查所述已制作完成的基板和未制作完成的基板的至少一个检测器。
6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于，所述搬运单元具体为机械手臂。
7.一种基板检查系统，其特征在于，包括如权利要求1-6所述的基板检查装置，以及与所述基板检查装置相连的至少一台控制装置。
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