[实用新型]喷嘴清洗装置以及涂布装置

权利要求书

1.一种喷嘴清洗装置，用于清洗狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴具有狭缝状的涂布液喷出口及靠近所述涂布液喷出口的倾斜面，且对基板涂布涂布液，其特征在于，所述喷嘴清洗装置包括：

第1及第2板状构件，彼此相向地配置，从而形成狭缝状的气体喷出口；以及

第3板状构件，与所述第2板状构件相向地配置，从而形成狭缝状的清洗液喷出口，

将从所述第1板状构件与所述第2板状构件之间所形成的气体喷出口喷出的气体、和从所述第2板状构件与所述第3板状构件之间所形成的清洗液喷出口喷出的清洗液混合而生成的液滴喷出至所述狭缝喷嘴中的倾斜面，并且

在所述第3板状构件中的与所述第2板状构件相反的一侧，形成有朝大气开放的空间区域。

2.根据权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于包括：

位置调整机构，使所述第3板状构件相对于所述第2板状构件而朝从所述清洗液喷出口喷出的清洗液的喷出方向移动，从而调整所述第3板状构件的位置。

3.根据权利要求2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，

在所述第1板状构件中的与所述第2板状构件相反的一侧，配设包围所述狭缝喷嘴中的倾斜面的罩，并且具备吹洗机构，所述吹洗机构向所述罩中的与所述第1板状构件相反的一侧的区域供给气体。

4.一种喷嘴清洗装置，用于清洗狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴具有狭缝状的涂布液喷出口及靠近所述涂布液喷出口的倾斜面，且对基板涂布涂布液，其特征在于，所述喷嘴清洗装置包括：

混合部，将清洗液与气体予以混合；以及

第1及第2板状构件，彼此相向地配置，从而形成狭缝状的喷出口，

从形成在所述第1板状构件与所述第2板状构件之间的喷出口，将由所述混合部混合的清洗液与气体而生成的液滴喷出至所述狭缝喷嘴中的倾斜面，并且

在所述第2板状构件中的与所述第1板状构件相反的一侧，形成有朝大气开放的空间区域。

5.一种涂布装置，对基板的表面涂布涂布液，其特征在于，所述涂布装置包括：

载台，载置所述基板；

狭缝喷嘴，具有狭缝状的涂布液喷出口及靠近所述涂布液喷出口的倾斜面，在与载置于所述载台的基板的表面靠近的状态下，相对于所述基板而沿水平方向相对地移动，从而对所述基板的表面涂布涂布液；以及

权利要求1至4中任一所述的喷嘴清洗装置。