[发明专利]PECVD镀膜装置的电极结构

说明书

技术领域

本发明涉及气体放电技术领域，具体而言，涉及一种PECVD镀膜装置的电极结构。

背景技术

传统的PECVD镀膜装置的电极结构示意图参见附图1，电极辊11a、11b对向放置，其中分别设置内磁路12a、12b，在电极辊11a、11b外部设置外磁路13与内磁路12a、12b构成磁回路，进气管设置在两电极辊之间偏上部分。放电在电极辊11a、11b之间进行并形成等离子放电区15。

当前PECVD镀膜装置的电极结构通常是将一对电极辊对向放置，在两个电极辊之间形成等离子放电区，这样的结构放电电压较高，消耗的功率也较大，且放电电压高容易引起各种误放电，电极表面极易出现打火现象，这对膜面性能也是极为不利的。

发明内容

本发明旨在提供一种PECVD镀膜装置的电极结构，能够降低放电电压，较大程度避免误放电，降低能源消耗并提升膜面质量。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种PECVD镀膜装置的电极结构，包括：第一电极对，包括相对设置的第一电极辊和第二电极辊，第一电极辊内设置有第一内磁路，第二电极辊内设置有第二内磁路；第二电极对，第二电极对的两个电极的中心连线与第一电极辊和第二电极辊的中心连线相互垂直并对称布置。

进一步地，第二电极对包括第一电极和第二电极，第一电极内置有第三内磁路，第二电极内置有第四内磁路。

进一步地，第一电极辊内设置有四个磁极，第二电极辊内设置有四个磁极，第一电极辊内的四个磁极与第二电极辊内的四个磁极一一对应设置，第一电极辊内的各磁极与第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路。

进一步地，第一电极内设置有四个磁极，第二电极内设置有四个磁极，第一电极内的四个磁极与第二电极内的四个磁极一一对应设置，第一电极内的朝向第一电极辊的磁极与第一电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路，第一电极内的朝向第二电极辊的磁极与第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路，第二电极内的朝向第一电极辊的磁极与第一电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路，第二电极内的朝向第二电极辊的磁极与第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路。

进一步地，第二电极对包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极沿第一电极辊和第二电极辊的中心连线对称设置，且第一电极和第二电极的中心连线经过第一电极辊和第二电极辊的中心连线的中心。

进一步地，第一电极辊内设置有四个磁极，第二电极辊内设置有四个磁极，第一电极辊内的四个磁极与第二电极辊内的四个磁极一一对应设置，第一电极辊内的各磁极与第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路。

进一步地，第一电极对的两个电极辊为同电位，第二电极对的两个电极为同电位，放电在电极与电极辊之间进行。

进一步地，电极结构包括四个进气管，四个进气管分别设置在相邻的电极辊和电极之间，且四个进气管均位于电极辊和电极所形成的放电区域外，各进气管的开口朝向放电区域。

进一步地，四个进气管沿第一电极辊和第二电极辊的对称中心周向均匀设置。

进一步地，电极结构包括进气管，进气管设置在第一电极辊和第二电极辊的对称中心。

应用本发明的技术方案，PECVD镀膜装置的电极结构包括：第一电极对，包括相对设置的第一电极辊和第二电极辊，第一电极辊内设置有第一内磁路，第二电极辊内设置有第二内磁路；第二电极对，第二电极对的两个电极的中心连线与第一电极辊和第二电极辊的中心连线相互垂直并对称布置。本发明利用两个电极作为辅助电极进行放电，补充了两个电极辊放电时的放电强度，因此可以降低放电电压。此外第二电极对的两个电极的中心连线与第一电极辊和第二电极辊的中心连线相互垂直并对称布置，使得电极结构所形成的放电区域更加均匀，通过两个电极和两个电极辊同时放电，所需的放电电压降低也能够满足放电强度需要，能够较大程度地避免由于放电电压过高而导致的误放电，降低电极表面出现打火现象的可能，从而降低能源消耗，并提高膜面质量。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了现有技术中的PECVD镀膜装置的电极结构示意图；

图2示出了根据本发明的第一实施例的PECVD镀膜装置的电极结构示意图；

图3示出了根据本发明的第二实施例的PECVD镀膜装置的电极结构示意图；

图4示出了根据本发明的第三实施例的PECVD镀膜装置的电极结构示意图；