[发明专利]PECVD镀膜装置的电极结构

权利要求书

1.一种PECVD镀膜装置的电极结构，其特征在于，包括：

第一电极对，所述第一电极对包括相对设置的第一电极辊和第二电极辊，所述第一电极辊内设置有第一内磁路，所述第二电极辊内设置有第二内磁路；

第二电极对，所述第二电极对的两个电极的中心连线与所述第一电极辊和第二电极辊的中心连线相互垂直并对称布置。

2.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述第二电极对包括第一电极和第二电极，所述第一电极内置有第三内磁路，所述第二电极内置有第四内磁路。

3.根据权利要求2所述的电极结构，其特征在于，所述第一电极辊内设置有四个磁极，所述第二电极辊内设置有四个磁极，所述第一电极辊内的四个磁极与所述第二电极辊内的四个磁极一一对应设置，所述第一电极辊内的各磁极与所述第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路。

4.根据权利要求3所述的电极结构，其特征在于，所述第一电极内设置有四个磁极，所述第二电极内设置有四个磁极，所述第一电极内的四个磁极与所述第二电极内的四个磁极一一对应设置，所述第一电极内的朝向所述第一电极辊的磁极与所述第一电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路，所述第一电极内的朝向所述第二电极辊的磁极与所述第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路，所述第二电极内的朝向所述第一电极辊的磁极与所述第一电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路，所述第二电极内的朝向所述第二电极辊的磁极与所述第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路。

5.根据权利要求1所述的电极结构，其特征在于，所述第二电极对包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极沿所述第一电极辊和所述第二电极辊的中心连线对称设置，且所述第一电极和所述第二电极的中心连线经过所述第一电极辊和所述第二电极辊的中心连线的中心。

6.根据权利要求5所述的电极结构，其特征在于，所述第一电极辊内设置有四个磁极，所述第二电极辊内设置有四个磁极，所述第一电极辊内的四个磁极与所述第二电极辊内的四个磁极一一对应设置，所述第一电极辊内的各磁极与所述第二电极辊内的相应的磁极之间形成磁回路。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电极结构，其特征在于，所述第一电极对的两个电极辊为同电位，所述第二电极对的两个电极为同电位，放电在所述电极与所述电极辊之间进行。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的电极结构，其特征在于，所述电极结构包括四个进气管，所述四个进气管分别设置在相邻的所述电极辊和所述电极之间，且所述四个进气管均位于所述电极辊和所述电极所形成的放电区域外，各所述进气管的开口朝向所述放电区域。

9.根据权利要求8所述的电极结构，其特征在于，所述四个进气管沿所述第一电极辊和所述第二电极辊的对称中心周向均匀设置。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的电极结构，其特征在于，所述电极结构包括进气管，所述进气管设置在所述第一电极辊和所述第二电极辊的对称中心。