[发明专利]一种射频滤波电路和静电夹盘

说明书

技术领域

本发明涉及射频技术领域，尤其涉及一种能够滤除多个射频功率的射频能量的射频滤波电路以及包括该射频滤波电路的静电夹盘。

背景技术

在射频技术领域中，通常需要滤除多余的射频能量，为此，需要设置射频滤波器。而且，在一些加工工艺如等离子体加工工艺中，通常会采用多个射频频率的射频源来控制等离子体加工的不同特性。为了滤除多个不同射频频率的射频能量，现有的射频滤波器的电路图如图1所示。

图1所示的滤波电路中包括三个电感线圈L’1、L’2、L’3，其中，电感线圈L’1用于屏蔽高频率射频能量，如60MHz，电感线圈L’2和L’3用于屏蔽较低频率的射频能量，如13MHz和2MHz。如图1所示，电感线圈L’1、L’2和L’3首尾串联连接，该滤波电路能够滤除差别很大的多个射频能量。在该滤波电路中，用于屏蔽低频射频能量的滤波线圈L’2连接在用于屏蔽低频射频能量的滤波线圈L’1的末端，由于在用于屏蔽高频射频能量的滤波线圈L’1的末端通常会存在较高的电压幅度，所以，该较高幅度的电压会流向用于屏蔽低频射频能量的滤波线圈L’2和L’3，造成用于屏蔽低频射频能量的滤波线圈L’2和L’3发热甚至烧毁。

发明内容

有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种可靠的射频滤波电路。

基于本发明的第一方面，本发明的第二方面提供了一种包括上述射频滤波电路的静电夹盘。

为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术方案：

一种射频滤波电路，至少包括，第一电感线圈和第二电感线圈，所述第二电感线圈与所述第一电感线圈上的中间抽头连接，所述第一电感线圈在工作时产生第一驻波效应，所述中间抽头位于第一驻波电压的最低处；

其中，所述第一电感线圈用于限制第一频率的射频能量，所述第二电感线圈用于限制第二频率的射频能量，所述第一频率高于第二频率。

较优的，所述第一电感线圈的末端连接有固定电容，所述固定电容接地。

较优的，所述射频滤波电路还包括，第三电感线圈，所述第二电感线圈在工作时产生第二驻波效应，所述第三电感线圈与所述第二电感线圈的中间抽头连接，所述第二电感线圈的中间抽头位于所述第二驻波电压的最低处；

所述第三电感线圈用于限制第三频率的射频能量，所述第三频率低于所述第二频率。

较优的，所述第一电感线圈为空气芯电感线圈。

较优的，所述第二电感线圈为铁芯电感线圈。

较优的，所述第三电感线圈为铁芯电感线圈。

较优的，所述第一射频频率大于40MHz，所述第二射频频率低于20MHz。

较优的，所述第三射频频率低于20MHz。

一种静电夹盘，所述静电夹盘用于等离子体加工工艺中，所述等离子体加工工艺采用的射频能量为多个射频功率的射频能量，所述静电夹盘内设置有加热片和用于测量加热片温度的热电偶，所述加热片由加热电源加热，在所述加热片和所述加热电源之间设置有第一射频滤波器，在所述热电偶和连接所述热电偶的测量电路之间设置有第二射频滤波器，所述第一射频滤波器和/或第二射频滤波器的滤波电路为如上述任一项所述的滤波电路。

相较于现有技术，本发明具有如下有益效果：

本发明实施例提供的射频滤波电路，工作时，在用于限制高频射频能量的第一电感线圈的末端产生寄生电容，该寄生电容能够反射入射到第一电感线圈内的射频能量，从而在第一电感线圈的内部产生驻波效应。与第一电感线圈连接的第二电感线圈连接在第一电感线圈上的中间抽头上，并且该中间抽头位于驻波电压的最低处，这样，第一电感线圈能够最大程度地滤除第一频率的射频能量，从而经由第一电感线圈和第二电感线圈的连接处传输到第二电感线圈的能量就大幅减少，从而降低了第一频率的射频能量对第二电感线圈的发热甚至烧毁的不良影响。可见，本发明提供的射频滤波电路能够充分地屏蔽第一频率的射频能量，提高了射频滤波器的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术中射频滤波电路示意图；

图2是本发明实施例的包括两个电感线圈的射频滤波电路示意图；

图3是本发明实施例的第一电感线圈内的电压与线圈匝数之间的关系示意图；