[发明专利]悬浮掩膜板的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及机械加工领域，尤其涉及悬浮掩膜板的制作方法。

背景技术

真空溅镀是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子（或分子）沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。为了更好的固定靶材，提高基片表面镀膜质量，需要在溅射基台和靶材之间安装悬浮掩膜板。

目前对悬浮掩膜板的机械加工工艺不成熟，加工出的悬浮掩膜板的加工精度不高。

有鉴于此，实有必要提出一种悬浮掩膜板的加工方法，避免上述缺陷。

发明内容

本发明解决的问题是对悬浮掩膜板的机械加工工艺非常不成熟，加工出的悬浮掩膜板的加工精度不高。

为解决上述问题，本发明提供一种悬浮掩膜板的制作方法，包括：

提供方形板坯料，对所述方形板坯料的正面进行车削形成平行于长边的第一斜面、平行于宽边的第二斜面，所述第一斜面和第二斜面垂直、相连；

在所述第一斜面外侧的方形板坯料上形成第一通孔，在所述第二斜面外侧的方形板坯料上形成第二通孔；

在所述第一斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第一斜面的第一凹槽，在所述第二斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第二斜面的第二凹槽；

对所述方形板坯料的背面进行车削，形成与所述第一斜面相对的第三斜面、与所述第二斜面相对的第四斜面，所述第三斜面和第四斜面垂直、相连，所述第三斜面上具有与第一凹槽相对的第一凸台，所述第四斜面上具有与第二凹槽相对的第二凸台；

在所述第三斜面外侧的方形板坯料上形成与第一通孔连通的第三通孔，在所述第四斜面外侧的方形板坯料上形成与第二通孔连通的第四通孔；

沿所述第三斜面、第四斜面内侧边缘线切割形成悬浮掩膜板第一部分；

将所述悬浮掩膜板第一部分拼接成方形框。

可选的，所述第一斜面、第二斜面各为两个时，所述第一斜面和第二斜面围成一个长方形，所述第一斜面与第二斜面的连接处位于所述方形板坯料的正面的对角。

可选的，所述悬浮掩膜板的制作方法还包括：

提供长条板坯料，对所述长条板坯料的正面进行车削形成平行于长条板坯料长边的第五斜面；

在所述第五斜面一侧的长条板坯料上形成第五通孔，在所述第五斜面另一侧的长条板坯料上形成靠近第五斜面的第三凹槽，所述第五斜面一侧的长条板坯料的高度小于所述第五斜面另一侧的长条板坯料的高度；

对所述长条板坯料的背面进行车削，形成于与第五斜面相对的第六斜面，所述第六斜面上具有与第三凹槽相对的第三凸台；

在所述第六斜面一侧的长条板坯料上形成与第五通孔连通的第六通孔，形成悬浮掩膜板第二部分，所述第六斜面一侧与所述第五斜面一侧为相同侧；

将所述悬浮掩膜板第二部分拼接在所述两个悬浮掩膜板第一部分之间。

可选的，所述第一斜面或第二斜面与第五斜面等高且等宽，所述第三斜面或第四斜面与第六斜面等高且等宽。

可选的，所述第一斜面外侧的方形板坯料、第二斜面外侧的方形板坯料与第五斜面一侧的长条板坯料等高且等宽；

所述第一斜面内侧的方形板坯料、第二斜面内侧的方形板坯料与所述第五斜面另一侧的长条板坯料等高且等宽；

所述第一斜面内侧的方形板坯料高于第一斜面外侧的方形板坯料；

所述第三斜面外侧的方形板坯料、第四斜面外侧的方形板坯料与所述第六斜面一侧的长条板坯料等高且等宽。

可选的，采用夹具对所述长条板坯料背面进行车削加工时，所述夹具的顶面与所述第五斜面、所述第五斜面内侧的长条板坯料、所述第五斜面外侧的长条板坯料相契合。

可选的，对所述方形板坯料正面进行车削加工前，对所述方形板坯料进行热处理，所述方形板坯料的材料为工业纯钛，所述热处理的温度为大于等于440℃～460℃，在所述热处理温度下保温115min～125min。

可选的，对所述长条板坯料正面进行车削加工前，对所述长条板坯料进行热处理，所述长条板坯料的材料为工业纯钛，所述热处理的温度为大于等于440℃～460℃，在所述热处理温度下保温115min～125min。

可选的，所述热处理后，还包括空冷的步骤。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：