[发明专利]一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的方法及其装置

权利要求书

1.一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的方法，包括以下步骤：将需内孔沉积金刚石薄膜的至少一个拉丝模置于真空腔室内，在将两端通有正负电极的热丝设置于拉丝模的正上方，热丝发出高温使气体变为等离子体，同时往真空腔室内通入甲烷和高纯氢，使热丝周围产生等离子团，利用风力驱动将热丝周围的等离子团沉降入拉丝模内孔内，生长成金刚石薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的方法，其特征在于所述拉丝模材质为表面除钴的碳化钨合金。

3.根据权利要求1所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于热丝距离拉丝模的高度为3~5mm。

4.一种如权利要求1~3之一所述的微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，包括真空炉罩、设置于真空炉罩的放置平台，所述真空炉罩近端部开设有进气口，底端开设有抽气口，其特征在于放置平台上方设置有热丝架，所述真空炉罩顶端正对拉丝以及拉丝模设置有风扇。

5.根据权利要求3所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于所述热丝架上水平间隔缠绕有热丝，相邻热丝间的间距为8~10mm。

6.根据权利要求3所述的一种微细孔拉丝模内孔沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于所述放置平台为可旋转的平台。