[发明专利]透光设备及具有所述透光设备的退火设备

权利要求书

1.一种透光设备，其特征在于，包括：

光可穿透的透射窗；

提供于所述透射窗的边缘上的框架；以及

多个夹钳，其用于将压力施加到所述框架以紧密地固定所述透射窗，

其中所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所述弹性部件穿过所述本体且从所述本体的下端突出的紧固件部件，且

所述弹性部件将由所述紧固件部件所施加的压力控制在所要范围内。

2.根据权利要求1所述的透光设备，其特征在于，所述框架包括提供于所述透射窗的下部部分中的下部框架，以及提供于所述透射窗的上部部分中的上部框架。

3.根据权利要求2所述的透光设备，其特征在于，至少一缓冲部件进一步提供于所述下部框架与所述透射窗之间以及所述上部框架与所述透射窗之间。

4.根据权利要求3所述的透光设备，其特征在于，所述夹钳进一步包括从所述本体的上部部分的部分延伸且与所述上部框架接触的延伸部分。

5.根据权利要求1或4所述的透光设备，其特征在于，外壳经进一步提供以容纳所述透射窗及所述框架于其中，且所述夹钳提供于所述外壳上以插入并耦合到所述外壳上的孔中。

6.一种退火设备，包括：

具有内部空间的腔室；

衬底移动单元，其提供于所述腔室的内部下部部分中以使衬底在所要方向上移动；以及

透光单元，其提供于所述腔室的外部上部部分中以透射从外部辐照的光，使得所述光辐照于所述衬底上，

其中所述透光单元包括多个夹钳，所述夹钳用于将压力施加到提供于光可穿透的透射窗的边缘上的框架以紧密地固定所述透射窗，

所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所述弹性部件穿过所述本体且从所述本体的下端突出的紧固件部件，且

所述弹性部件将由所述紧固件部件所施加的压力控制在所要范围内。

7.根据权利要求6所述的退火设备，其特征在于，所述衬底移动单元还包括：

第一平台，其配置于所述腔室中且经配置以在一个水平方向上往复运动；

第二平台，其提供于所述第一平台上且经配置以在正交于所述一个水平方向的另一水平方向上往复运动；以及

支撑板，其配置于所述第二平台上且经配置以将经受热处理的衬底安置于其顶部表面上。

8.根据权利要求7所述的退火设备，其特征在于，水平旋转的第三平台及垂直移动的第四平台中的至少一者进一步提供于所述第二平台与所述支撑板之间。