[发明专利]一种在处理机台上生成用于定位晶圆的制程的方法

权利要求书

1.一种在处理机台上生成用于定位晶圆的制程的方法，包括如下步骤：

Ⅰ.导入待测晶圆；

Ⅱ.按照如下步骤分别设定至少两个定位单元，其中

i 通过图像识别设备在所述晶圆上选定特征性图形区域；

ii在所述特征性图形区域中确定至少两个特征点；

iii记录每个特征点的坐标；

Ⅲ.把所述定位单元的数据保存至所述制程中，所述定位单元的数据包括所述特征性图形区域和每个特征点的坐标；

其中，制程中每一个定位单元所选定的图形区域不一样，

其中，在步骤Ⅲ中，所述制程还包括定位单元排序组，所述定位单元按预定的排列规则被保存至所述定位单元排序组中。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，至少一个所述特征点靠近所述晶圆的中心，至少一个所述特征点靠近所述晶圆的边缘。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在确定所述特征点时，选择点间距离远的点为特征点。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，当设定制程中的第一个定位单元时，所述特征性图形区域在靠近晶圆中心区域附近选取。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤i中，设定一个特征性阈值，当图形区域的特征性值大于所述特征性阈值时，选定该图形区域为特征性图形区域，其中，该特征性值表示图形的特征被识别的难易程度。

6.一种用处理机台在制程中增加定位单元的方法，所述制程用于定位晶圆，包括如下步骤：

A.导入待测晶圆；

B.导出制程中现有定位单元中的现有数据，所述现有数据包括现有特征性图形区域和现有特征点的现有坐标；

C.根据所述现有特征性图形区域数据，通过图像识别设备在晶圆上自动搜寻以找出与所述现有特征性图形区域相匹配的图形区域；

D.根据现有数据中提供的现有特征点，在当前找出的图形区域中搜寻该现有特征点，并确定所述现有特征点的当前坐标；计算所述当前坐标相对于所述现有坐标在X轴和Y轴上的偏移量和偏转角度；根据计算得出的所述X轴和Y轴上的偏移量和偏转角度，得出当前坐标与现有坐标的换算公式；

E.添加至少一个新增定位单元；其中

e1.通过图像识别设备在所述晶圆上选定新增特征性图形区域，其中，该新增特征性图形区域与现有特征性图形区域不一样；

e2.在所述新增特征性图形区域中确定至少两个特征点；

e3.记录所述新增的特征点的坐标；

F.把所述新增定位单元的数据保存至所述制程中，所述新增的定位单元的数据包括新增特征性图形区域和新增的特征点的坐标；

其中，步骤C中还包括如下步骤：

c1.设定图形相似性阈值，通过图形识别设备判断在晶圆中所搜寻区域与现有定位单元中的现有特征性图形区域的相似值；

c2.根据所述相似值和所述图形相似性阈值，判定所搜寻区域是否为所要找的现有特征性图形区域，其中：

c21.当所述相似值大于相似性阈值时，判定所搜寻区域为所要找的现有特征性图形区域，并执行步骤D；

c22.当所述相似值小于相似性阈值时，降低该相似性阈值的值并再次搜寻。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，步骤c22还包括如下步骤：

c221.当再次搜寻之后所述相似值大于降低后的所述相似性阈值，则接收所输入的对所搜寻到的区域是否为特征性图形区域的人工确认，然后执行步骤D；

c222.当再次搜寻之后所述相似值小于降低后的所述相似性阈值，则接收所输入的对该特征性图形区域的人工查找，然后执行步骤D。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，步骤D中所述公式为：

X’＝X*cosθ+Y*sinθ+△X

Y’＝-X*sinθ+Y*cosθ+△Y

(X，Y)为原坐标点，(X’，Y’)为当前坐标点，θ为偏转角度，(△X，△Y)为偏移量。