[发明专利]一种新型有机硅缓蚀剂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种有机硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括：5~25质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.1~1.5质量份2-羟基苯并咪唑、0.1~1.5质量份羟基咪唑、0.1~1.5质量份羟乙基乙二胺、0.01~0.1质量份氯铂酸异丙醇溶液、0.05~0.2质量份碱性催化剂、100~500质量份溶剂A和100~500质量份溶剂B。

2.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括：5~15质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.25~1.0质量份2-羟基苯并咪唑、0.25~1.0质量份羟基咪唑、0.5~1.0质量份羟乙基乙二胺、0.025~0.075质量份氯铂酸异丙醇溶液、0.075~0.125质量份碱性催化剂、100~350质量份溶剂A和100~350质量份溶剂B。

3.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括：5~10质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.5~0.75质量份2-羟基苯并咪唑、0.5~0.75质量份羟基咪唑、0.5~0.75质量份羟乙基乙二胺、0.05~0.075质量份氯铂酸异丙醇溶液、0.075~0.1质量份碱性催化剂、150~250质量份溶剂A和150~250质量份溶剂B。

4.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述甲基苯基含氢聚硅氧烷，分子量1000~10000，活性氢含量为0.2wt%~2.0wt%，以主链上的摩尔分数计苯基含量为1%~5%。

5.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述甲基苯基含氢聚硅氧烷，分子量为1000~5000，活性氢含量为0.2wt %~1.0wt%，以主链上的摩尔分数计苯基含量为1%~2.5%。

6.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述甲基苯基含氢聚硅氧烷，分子量为1500~3500，活性氢含量为0.3wt %~0.5wt%，以主链上的摩尔分数计苯基含量为1.5%~2.5%。

7.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述碱性催化剂为氢氧化钠或氢氧化钾。

8.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂A为正庚烷、异庚烷、异辛烷中的任一种。

9.按照权利要求1或8所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂A为正庚烷。

10.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂B为甲苯、正辛烷、二甲苯、正辛醇、异辛醇中的任一种。

11.按照权利要求1或10所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂B为甲苯。

12.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述氯铂酸异丙醇溶液中Pt含量为0.1~1.5wt%。

13.权利要求1~12中任一权利要求所述有机硅缓蚀剂组合物制备方法，包括如下步骤：

（1）在搅拌条件下，将甲基苯基含氢聚硅氧烷、2-羟基苯并咪唑和羟基咪唑加入到溶剂A中，然后升温，在65~80℃时滴加氯铂酸异丙醇溶液，在氮气保护下反应3~8小时，反应混合物去除溶剂后，得到一次产物M；

（2）在搅拌条件下，向一次产物M中加入羟乙基乙二胺和溶剂B，然后升温，在90~100℃时加入碱性催化剂，反应1~5小时，反应混合物除去溶剂并经过滤后所得产物即为所述缓蚀剂组合物。