[发明专利]柔性显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种制造柔性显示装置的方法，该方法包括以下步骤：

设置辅助基板；

在所述辅助基板上形成牺牲层；

在上面形成有所述牺牲层的所述辅助基板上形成柔性基板；

在所述柔性基板上形成显示面板；

通过激光照射去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层；

在去除了所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层后在所述柔性基板与所述辅助基板之间注入空气；以及

使所述辅助基板从所述柔性基板分离。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述辅助基板被实现为玻璃基板或金属基板。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，通过在所述牺牲层上涂布聚酰亚胺基树脂，形成所述柔性基板。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述显示面板被实现为液晶显示装置、有机发光二极管装置或电泳显示装置中的一种。

5.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括以下步骤：在所述柔性基板上形成所述显示面板之后：

以所述辅助基板被翻转为面向上侧的方式将所述柔性基板装载到真空工作台上。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，通过将激光照射到所述辅助基板上，去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，在同一真空工作台上执行所述激光照射和所述辅助基板的分离。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，使用真空衬垫单元将所述辅助基板从所述柔性基板分离。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述真空衬垫单元包括多个真空衬垫和使所述真空衬垫上下移动的真空衬垫板。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，通过设置在所述真空衬垫单元处的空气注入器来注入所述空气。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，在使用所述真空衬垫单元的所述真空衬垫来吸附并固定所述辅助基板的上表面之后，执行空气注入。

12.根据权利要求8所述的方法，其中，通过注入空气将所述柔性基板与所述辅助基板之间的界面的真空粘合力改变为高于大气压的压力，来促进所述辅助基板的分离。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，在通过所述空气注入消除所述柔性基板与所述辅助基板之间的真空之后，使用所述真空衬垫单元使所述辅助基板从所述柔性基板分离。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，通过使所述真空衬垫单元保持水平状态向上移动，将所述辅助基板从所述柔性基板分离。