[发明专利]一种大面积微波等离子体化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种大面积微波等离子体化学气相沉积系统，该系统包括：真空腔体、上盖、波导、模式转换天线、基片、基片台，其特征在于：所述的真空腔体下部具有导入微波的开口部和抽真空的抽气口，上部具有进气管道的接口；所述的上盖顶部和真空腔四周设有观察窗；上盖上设置有不同尺寸的凹部；微波通过夹持于基片台下方和真空腔体之间的石英环导入真空腔体内；所述的基片台与所述上盖水平平行，其上设置有水冷装置。

2.根据权利要求书1所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的真空腔为多模式腔体，由不锈钢等不易受高温发生变形的材料制成。

3.根据权利要求书1所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的基片为钨板、钼板或硅片。

4.根据权利要求书2所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的模式转换天线上端以喇叭口的形状与水冷基片台下端焊接，同时其与水冷基片台和真空腔体中心对中。

5.根据权利要求书4所述的大面积微波等离子体化学沉积系统，其特征在于：所述的真空腔体下部设有与真空腔体中心线对中的陶瓷环。