[发明专利]TFT阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置有效
申请号: | 201310470077.0 | 申请日: | 2013-10-10 |
公开(公告)号: | CN103969865B | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 王听海;曹兆铿 | 申请(专利权)人: | 上海中航光电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;H01L27/32 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201108 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tft 阵列 及其 制造 方法 显示 面板 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种TFT阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置。
背景技术
目前,平板显示器,如液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)和有机发光显示器(Organic Light Emit Display,OLED)等,由于其具有体积小、重量轻、厚度薄、功耗低、无辐射等特点,在当前的平板显示器市场中占据了主导地位。在成像过程中,平板显示器中每一像素点都由集成在阵列基板中的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)来驱动,再配合外围驱动电路,实现图像显示,TFT是控制发光的开关,是实现液晶显示器LCD和有机发光显示器OLED大尺寸化的关键,直接关系到高性能平板显示器的发展方向。随着对产品的分辨率和显示效果的要求越来越高,在TFT基板结构中,如何减少公共电极与数据线之间的耦合电容,从而达到减少闪烁(Flicker)不均的效果,成为了本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种TFT阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置。
一种TFT阵列基板,包括基板,数据线,位于基板的上方;以及栅绝缘层,位于基板的上方,所述栅绝缘层包括凹槽,所述数据线位于所述凹槽内。
相应的,本发明还提供一种制造上述TFT阵列基板的方法,包括在基板上形成栅绝缘层;在所述栅绝缘层形成凹槽;以及设置数据线,其中所述数据线位于所述凹槽内。
相应的,本发明还提供一种显示面板,包括如上所述的TFT阵列基板;以及彩膜基板,与所述TFT阵列基板相对设置。
相应的,本发明还提供一种显示装置,包括如上所述的TFT阵列基板。
与现有技术相比,本发明具有如下突出的优点之一:
本发明的TFT阵列基板及其制造方法、显示面板和显示装置,通过在栅绝缘层上设置凹槽,并将数据线设置在栅绝缘层的凹槽内,可以达到以下至少一个效果:减少数据线和公共电极之间的耦合电容,降低数据线产生的电场干扰,降低闪烁(Flicker)不均和串扰(Crosstalk),提高基板制备的良率,提高了显示品质。
附图说明
图1是本发明实施例一的TFT阵列基板的第一种部分结构示意图;
图2是本发明实施例一TFT阵列基板沿AA’线的第一种剖面示意图;
图3是本发明实施例一TFT阵列基板沿AA’线的第二种剖面示意图;
图4是本发明实施例一的TFT阵列基板的第二种部分结构示意图;
图5是本发明实施例一TFT阵列基板沿AA’线的第三种剖面示意图;
图6是本发明实施例一TFT阵列基板沿AA’线的第四种剖面示意图;
图7是本发明实施例二TFT阵列基板的部分结构示意图;
图8a是本发明实施例二的TFT阵列基板沿AA’线的剖面示意图;
图8b是本发明实施例二的TFT阵列基板沿BB’线的剖面示意图;
图9是本发明的实施例一TFT阵列基板制造工艺的流程图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面将结合附图和实施例对本发明做进一步说明。
需要说明的是:
在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施方式的限制。
实施例一
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