[发明专利]用于自动化物料传输的轨道结构及传输系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，尤其涉及一种用于自动化物料传输的轨道结构及传输系统。 

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。 

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图4所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。 

如上所述，AMHS系统提供硅片盒的传输与储存自动化服务，但是，现有系统中，OHT输送车每次到达或离开目标机台或暂存区，都需要启动加速或制动减速，耗费不少时间、能源，对轨道和输送车车轮的磨损也不可避免，影响搬送效率和部件使用寿命。 

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输的轨道结构及传输系统。 

为实现上述目的，本发明提供的用于自动化物料传输的轨道结构，其包括贯穿于AMHS系统的机台走道并相互连通的多条轨道，该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方，其中，每个堆叠部上方对应位置处的轨道向上凸起形成上凸段，该上凸段的两端具有弧形结构以与轨道主体弧线连接，该上凸段上设有至少一个触发开关，该触发开关与输送车信号连接，用以在输送车经过并触发该触发开关时对输送车的抓手发出收拢或松开的指令。 

本发明所述“该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方”中的“上方”包含但不仅限于正上方，还包括处于较高水平位置的其他位置，如两列堆叠部中间位置的正上方。 

进一步地，该弧形结构为S型，两端的两段弧形结构构成八字形。 

进一步地，该上凸段的两端弧形结构上各设有一个触发开关。 

进一步地，该上凸段两端弧形结构之间还具有平坦段，该平坦段的中间位置设有一个触发开关，或该平坦段中间位置的两边各设有一个触发开关。 

进一步地，该触发开关通过控制单元与输送车信号连接。 

进一步地，该触发开关选自弹性轻触开关、延时开关、接近开关、红外线开关或光感开关。 

进一步地，该触发开关设于上凸段的上表面或侧面。 

本发明还提供一种具有上述轨道结构的AMHS系统，其包括： 

多个机台，呈矩阵状布设，每列机台之间形成机台走道，每个机台都具有堆放硅片盒的堆叠部； 

轨道结构，包括贯穿于机台走道并相互连通的多条轨道，该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方； 

至少一辆输送车，悬挂于于轨道结构上并可沿着轨道行进；以及 

控制单元，与该机台和输送车信号连接； 

其中，每个堆叠部上方对应位置处的轨道向上凸起形成上凸段，该上凸段的两端具有弧形结构以与轨道主体弧线连接，该上凸段上设有至少一个触发开关，该触发开关与输送车信号连接，用以在输送车经过并触发该触发开关时对输送车的抓手发出收拢或松开的指令。 

本发明采用以上技术方案，提供一种新的用于自动化物料传输的轨道结构及传输系统，具有以下技术效果：