[发明专利]用于自动化物料传输的轨道结构及传输系统

权利要求书

1.一种自动化物料传输的轨道结构，其特征在于，其包括贯穿于AMHS系统的机台走道并相互连通的多条轨道，该多条轨道设于机台矩阵硅片盒堆叠部的上方，其特征在于：每个堆叠部上方对应位置处的轨道向上凸起形成上凸段，该上凸段的两端具有弧形结构以与轨道主体弧线连接，该上凸段上设有至少一个触发开关，该触发开关与输送车信号连接，用以在输送车经过并触发该触发开关时对输送车的抓手发出收拢或松开的指令。

2.根据权利要求1所述的自动化物料传输的轨道结构，其特征在于：该弧形结构为S型，两端的两段弧形结构构成八字形。

3.根据权利要求2所述的自动化物料传输的轨道结构，其特征在于：该上凸段的两端弧形结构上各设有一个触发开关。

4.根据权利要求1所述的自动化物料传输的轨道结构，其特征在于：该上凸段两端弧形结构之间还具有平坦段，该平坦段的中间位置设有一个触发开关，或该平坦段中间位置的两边各设有一个触发开关。

5.根据权利要求1所述的自动化物料传输的轨道结构，其特征在于：该触发开关通过控制单元与输送车信号连接。

6.根据权利要求5所述的自动化物料传输的轨道结构，其特征在于：该触发开关选自弹性轻触开关、延时开关、接近开关、红外线开关或光感开关。

7.根据权利要求5所述的自动化物料传输的轨道结构，其特征在于：该触发开关设于上凸段的上表面或侧面。

8.一种具有权利要求1至7任一项轨道结构的AMHS系统，其特征在于，其包括：

多个机台，呈矩阵状布设，每列机台之间形成机台走道，每个机台都具有堆放硅片盒的堆叠部；

根据权利要求1至7任一项所述的轨道结构；

至少一辆输送车，悬挂于于轨道结构上并可沿着轨道行进；以及

控制单元，与该机台和输送车信号连接。