[发明专利]电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法有效
申请号: | 201310429112.4 | 申请日: | 2013-09-18 |
公开(公告)号: | CN103499474A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 武洪臣;雷新更;姜春竹;高巍;苏云亮;刘强军 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;C23C14/22 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 赵燕力 |
地址: | 100024 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 电子束 物理 沉积 板材 拉伸 试样 制备 方法 | ||
1.一种电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法,采用石墨作为基板;将基板上用于沉积板材的底面进行抛光处理;将基板底面与其周围的侧壁面之间的夹角加工呈锐角;采用电子束物理气相沉积在所述底面上制备沉积材料层。
2.如权利要求1所述的电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法,其特征在于:所述基板底面的表面粗糙度低于Ra6.3。
3.如权利要求2所述的电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法,其特征在于:所述基板底面加工成与拉伸试样轮廓相同的形状。
4.如权利要求3所述的电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法,其特征在于:当所述基板用于旋转沉积时,该锐角小于60°。
5.如权利要求3所述的电子束物理气相沉积板材拉伸试样的制备方法,其特征在于:当所述基板用于静止沉积时,该锐角小于80°。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所,未经中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310429112.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种道路系统中的菱形立交控制方法
- 下一篇:气动双手揉搓仿生装置