[发明专利]压电陶瓷材料、烧结体及其制备方法、压电陶瓷器件无效
| 申请号: | 201310398645.0 | 申请日: | 2013-09-04 |
| 公开(公告)号: | CN103467088A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
| 发明(设计)人: | 苏绍华;陈吉 | 申请(专利权)人: | 瑞声精密制造科技(常州)有限公司 |
| 主分类号: | C04B35/491 | 分类号: | C04B35/491;C04B35/622;H01L41/187 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 213167 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 陶瓷材料 烧结 及其 制备 方法 陶瓷 器件 | ||
1.一种压电陶瓷材料,其特征在于,所述压电陶瓷材料含有用化学通式:
PbZraTib(Nb1/2Sb1/2)1-a-bO3+c%BaW1/2Cu1/2O3表示且满足如下关系的主要组分:0.4≤a≤0.6,0.4≤b≤0.6,0.5≤c≤2。
2.一种压电陶瓷烧结体,其特征在于,所述压电陶瓷烧结体是通过烧制如权利要求1所述的压电陶瓷材料而得到的烧结体。
3.一种压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:
配料:按PbZraTib(Nb1/2Sb1/2)1-a-bO3化学式配比提供压电陶瓷材料的各组分并将所述组分制成粉末,所述组分包括Pb3O4、Nb2O5、Sb2O3、ZrO2、TiO2;
混料:将上述配置好的粉末加1:1质量的蒸馏水混合8小时后烘干;
煅烧:将上述烘干后的产物在950-1050℃的环境中煅烧3h以合成得到煅烧产物;
添加低温助剂并粉碎:按照c%BaW1/2Cu1/2O3的质量百分比在上述煅烧产物中加入BaCO3、WO3、CuO,然后粉碎成粉末并烘干以形成混合物;
制浆:向上述混合物中加入粘结剂、增塑剂、分散剂、溶剂并混合以形成陶瓷浆料;
成型:将所述陶瓷浆料除泡后流延形成陶瓷薄膜;
叠置:将上述陶瓷薄膜层叠设置并等静压形成层压产物;
烧结:在1050-1150℃的环境中保温3h烧制所述层压产物形成压电陶瓷烧结体。
4.根据权利要求3所述的压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,在配料步骤中,所述组分通过原料选择或球磨混合的方式制成粉末。
5.根据权利要求3所述的压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,在配料步骤中,所述粉末的颗粒度中位数控制在2μm以下。
6.根据权利要求3所述的压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,所述混料步骤中,配置好的粉末与蒸馏水在球磨机内进行混合。
7.根据权利要求3所述的压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,在粉碎步骤中,采用微珠球磨粉粹所述煅烧产物。
8.根据权利要求3所述的压电陶瓷烧结体的制备方法,其特征在于,在粉碎步骤中,粉粹后的混合物的粒度分布在中位数1μm以下。
9.一种压电陶瓷器件,其特征在于,所述压电陶瓷器件通过电极极化如权利要求3至8任意一项所述的压电陶瓷烧结体形成的。
10.根据权利要求9所述的压电陶瓷器件,其特征在于,所述压电陶瓷器件在极化电场范围为1500-2500V/mm下极化5秒得到。
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