[发明专利]玻璃膜层叠板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃薄膜技术，尤其涉及一种玻璃膜层叠板及其制造方法，尤其适用于液晶显示器或有机EL（electro-luminescence,电致发光）显示器等的平板显示器或太阳能电池、锂离子电池、数字标牌、触摸面板、电子书刊等设备的玻璃基板或有机EL照明等设备的盖玻璃或医药品封装等中所使用的玻璃膜。

背景技术

近年来普及了液晶显示器、有机EL显示器等平板显示器件，对这些平板显示器件要求进一步的薄型化，特别在有机EL显示器中，要求通过折叠或卷绕而容易搬运，并且能够不仅用于平面还可以用于曲面，另外，在机动车的车身表面或建筑物的屋顶、柱、外壁等具有曲面的物体的表面形成太阳能电池、或者形成有机EL照明的话，其用途会变得广泛起来，因而，对于在这些设备中所使用的基板或盖板要求更进一步的薄板化和高可挠性。

在有机EL显示器中所使用的发光体由于与氧或水蒸气等的气体接触而劣化，因而，对于有机EL显示器中所使用的基板要求较高的气体屏蔽性，故期待使用玻璃基板，但是，基板中所使用的玻璃由于与树脂膜不同而不耐受拉伸应力，故可挠性低，当通过弯曲玻璃基板对玻璃基板表面施加拉伸应力时会产生破损，为了对玻璃基板赋予可挠性而需要进行超薄板化，提出了厚度为200μm以下的玻璃膜。

对于在平板显示器或太阳能电池等的电子器件中所使用的玻璃基板而言，会进行透明导电膜等的附膜处理或清洗处理等各种电子器件的制造关联处理，制造关联处理是指在玻璃上镀制透明导电膜等各种薄膜，使得玻璃表面具备平板显示器或太阳能电池电子器件相应功能时，所必须经历的关联制造工序，比如文中所列的附膜处理或清洗处理，不过，当进行这些电子器件中所使用的玻璃基板膜化时，由于玻璃为脆性材料，故因稍许的应力变化就会产生破损，在进行上述的各种电子器件相关联的处理时，极为困难；除此之外，由于厚度在200μm以下的玻璃膜富有挠性，在进行制造关联处理时难以进行定位。

名称为《玻璃膜层叠体》申请号为201180010413.2专利文献一以及名称为《玻璃膜层叠体》申请号为201080021282.3的专利文献二均记载了一种由支承玻璃基板与玻璃膜通过层叠结合而成的玻璃膜层叠体，用于提高玻璃膜的处理性，在单体中即使采用没有强度或刚性的玻璃板，也能够共用现有的玻璃用液晶显示元件制造生产线来制造液晶显示元件，在工序结束后能够剥离玻璃基板，另外，由于使用支承体，故关联处理时也容易进行定位。

但是，在实现玻璃板的更进一步的超薄板化，进行超薄板化成为玻璃膜时，即使是上述的玻璃膜层叠体，在电子器件制作后也难以将玻璃膜从支承玻璃基板上剥离，在将玻璃膜从支承玻璃基板上剥离时，从玻璃膜的拐角部开始剥离，但是，在专利文献一中记载的玻璃膜层叠体中，在剥离玻璃膜时容易产生破损或欠缺，尤其是，在玻璃膜与支承玻璃基板粘着的情况下，该问题尤为显著，为了解决该问题，还考虑了使玻璃膜从支承玻璃基板一部分突出来层叠，不过还存在从支承玻璃基板露出的玻璃膜破损的问题。

专利文献一的方案，在对玻璃膜的表面进行成膜处理、清洗处理时，由于支承玻璃基板与玻璃膜良好地粘接，因此能够毫无问题地进行处理时的定位、操作；然而，在处理后剥离时，玻璃膜则由于粘接力过强而大幅弯曲，在剥离时存在玻璃膜发生破损的缺陷。

专利文献二的方案，通过对支承玻璃基板的接触面进行基于氧化铝及氧化饰的研磨处理，由此将接触面的表面粗糙度Ra均匀地调整为2.2nm之后，通过在支承玻璃基板的接触面层叠玻璃膜，制作出玻璃膜层叠板。对专利文献二中玻璃膜层叠板而言，在对玻璃膜的表面进行清洗处理、成膜处理时，存在粘接力不充分的情况，在处理时存在玻璃膜从支承玻璃基板剥离时无法良好进行定位和操作的缺陷。

发明内容

本发明提供一种玻璃膜层叠板及其制造方法，用于克服现有技术中的缺陷，通过支承玻璃基板来为玻璃膜提供保护作用，很容易地将玻璃膜从支承玻璃基板上剥离并使得玻璃膜不受损伤，且保证良好的定位和操作。

本发明提供一种玻璃膜层叠板，包括层叠的支承玻璃基板和玻璃膜，所述玻璃膜的边缘位于所述支承玻璃基板的层叠面上，所述玻璃膜的周侧面与所述支承玻璃基板的层叠面之间具有密封层，所述支承玻璃基板的层叠面与所述玻璃膜的层叠面彼此接触的部分的表面粗糙度之差大于或等于1.0nm。

本发明提供一种上述玻璃膜层叠板的制造方法，包括以下步骤：