[发明专利]具有流体增压紧迫定位功能的对位平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种对位平台装置，特别涉及一种具有流体增压紧迫定位功能的创新对位平台。

背景技术

按，随着高科技时代的来临，多种制造加工的处理模式已进入奈米等级，众多精密产品于制程中有更高更严苛的精度要求，尤其是光电及晶圆产品，其精密定位技术成为必备条件。

精密加工制程中，对位平台（或称对位滑台）为产业界普遍采用的设备；目前现有对位平台的典型结构形态，主要是在一活动平台与一基座之间横设有数组X轴向与Y轴向的螺杆导动装置，螺杆导动装置的组装座部被定位于基座，螺杆导动装置的伸缩作动端则呈滑动配合状态连结于活动平台；藉此，其运作时能够透过控制螺杆导动装置的其中单组作动或整体同动等方式，达到驱使活动平台位移或转动以调校加工精准度的目的。

前述对位平台结构于使用上虽确可达到其精密位移调校的功能，但其问题点却是出在于定位的部份，概因，现有对位平台结构无论处于作动状态或定止状态时，其活动平台的支撑力与定位性完全是仰赖螺杆导动装置的连接关系来达成，然而，由于螺杆导动装置与活动平台之间呈滑动配合连接关系，此种组合状态于二者各相连结处难免存在有配合公差，而配合公差累积的结果，势必造成对位平台于定止状态时并无法达到刚性稳固定位状态的问题，亦即对于侧向作用力并无足够的承载支撑能力，此一问题对于三轴配置形态的对位平台而言尤为严重，因其活动平台定止时，其中一导动轴呈较大自由度连结状态，故承载支撑能力较弱；而另一种四轴配置形态现有对位平台，其侧向承载力虽优于前述三轴配置形态者，但其缺点是制造成本大幅提高，且仍旧存在组合累进公差问题而无法达到刚性稳固支撑状态；是以综合上揭现有对位平台的结构设计，其加工过程中当活动平台受力达一定程度时，往往容易产生抖振、偏移现象而严重影响到最终产品加工精度与质量，如此而难以符合产业界预期的高精度要求，实有必要再加以思索突破。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种具有流体增压紧迫定位功能的对位平台。

为达到上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种具有流体增压紧迫定位功能的对位平台包括：

一基座，为具有一面积与厚度的座体形态，该基座包括一着置面以及一构件装设面；

一活动平台，设于基座的构件装设面一间隔距离位置处，该活动平台包括一加工台面以及一内面；

至少两组导动装置，呈不同作动轴向分布形态设置连接于基座的构件装设面与活动平台的内面之间，导动装置用于驱使控制活动平台产生多方向平移调整运动；

一中空限位座，凸设定位于基座的构件装设面中央，该中空限位座内部形成一腔室，中空限位座的端面中央则开设有一轴孔贯通该腔室；

一抵靠板，凸设定位于活动平台的内面一间隔距离处，该抵靠板与活动平台内面之间界定形成有一间隔空间，抵靠板具一抵靠作用面与活动平台内面间隔相对，且抵靠板中央开设有一穿透口，又该抵靠板与中空限位座的端面之间呈相互抵靠状态；

一工字型迫紧座，设于基座的构件装设面与活动平台的内面之间的中央区域，该工字型迫紧座包括平行间隔配置的一浮动盘、一迫紧盘以及垂直向连结定位于该浮动盘与迫紧盘之间中央位置的一连动轴，其中该浮动盘置于中空限位座的腔室中，且浮动盘周边设有止密环而与腔室之间呈气密配合关系，迫紧盘置于抵靠板与活动平台内面之间所形成的间隔空间中，该迫紧盘具有一迫紧面与抵靠板的抵靠作用面相对应，该连动轴则穿组于中空限位座所设轴孔；

一流体增压接口，通过工字型迫紧座的浮动盘与中空限位座的腔室之间的环状间隙空间所相对构成；

一流体导入单元，包括设于中空限位座一侧的流体压力导入通道以及连通该流体压力导入通道的一流体导管，其中该流体压力导入通道内端连通流体增压接口。

藉此创新独特设计，使本发明对照先前技术而言，当该流体导入单元导入流体压力令流体增压界面之间隙膨胀时，整体工字型迫紧座会朝基座方向位移，驱使迫紧盘的迫紧面朝抵靠板的抵靠作用面产生抵紧作用，令活动平台的定止状态获得一种流体增压迫紧式的加强稳固功能与效果，进而达到增益精密对位平台的活动平台结构强度与稳固性、大幅提升加工精度质量且结构简单而易于量产制造等诸多实用进步性。

附图说明

图1为本发明结构较佳实施例的分解立体图。

图2为本发明结构较佳实施例的组合立体图。

图3为本发明结构较佳实施例的组合剖视图。

图4为本发明可利用流体压力迫紧定位的作动状态示意图。