[发明专利]一种WO3-ZnO复合靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201310213526.3 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104177081A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 杨海涛;张忠健;尚福亮;傅崇伟;高玲;赵声志;刘存奇;饶承毅 | 申请（专利权）人： | 深圳大学;株洲硬质合金集团有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/495;C04B35/622 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 518060广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 wo3 zno 复合 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种致密的WO3-ZnO复合陶瓷靶材，其特征不添加任何烧结助剂而使该靶材烧结致密化，相对密度在95％以上。
2.根据权利要求1所述的WO3-ZnO复合陶瓷靶材，烧结后靶材的纯度高于99.9％，抗弯强度大于60Mpa。
3.根据权利要求1所述的WO3-ZnO复合陶瓷靶材，主要通过球磨-干燥-过筛-成型-烧结等工序制成。
4.根据权利要求1所述的WO3-ZnO复合陶瓷靶材，其烧结工艺具体采用常压烧结工艺、热压烧结工艺、或气压烧结工艺。
5.根据权利要求1所述的WO3-ZnO复合陶瓷靶材，既适用于粒度为5-30微米的普通粒度氧化钨和氧化锌粉末原料，也适用于纳米级的氧化钨和氧化锌粉末原料，且该靶材能够便利地制成各种复杂形状。
6.一种致密的WO3-ZnO复合陶瓷靶材的制备方法，其包括如下步骤：将权利要求5所述的原料在室温下球磨12-48小时，然后再在60-100℃下干燥4-12小时，干燥后的原料在过40-80目筛，在60-150Mpa的压力下进行压制成型，成型后的材料在300-500℃下保温2-4小时，最后再在1200-1400℃下空气气氛中常压烧结2-6小时，随炉冷却。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学;株洲硬质合金集团有限公司;，未经深圳大学;株洲硬质合金集团有限公司;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310213526.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
