[发明专利]显示器基板质量检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种显示器基板质量检测装置，用于检测显示器的基板质量，所述基板包括基板正面与位于所述基板正面相对的基板背面，所述基板正面设置有半导体阵列的制程区，围绕所述制程区设置有非制程区，其特征在于，所述显示器基板质量检测装置包括设置在基板背面的超声波发射器和超声波接收器，所述超声波发射器向所述基板背面发射用于检测基板质量的超声波；所述超声波接收器接收从所述基板反射的超声波；显示器基板质量检测装置还包括与所述超声波接收器连接的超声波分析器，用于对接收的超声波进行分析以判断出所述基板是否出现破裂。

2.根据权利要求1所述的显示器基板质量检测装置，其特征在于，所述显示器基板质量检测装置还包括发射器定位装置，所述超声波发射器安装在所述发射器定位装置上，所述发射器定位装置带动所述超声波发射器旋转或平移。

3.根据权利要求2所述的显示器基板质量检测装置，其特征在于，所述显示器基板质量检测装置还包括接收器定位装置，所述超声波接收器安装在所述接收器定位装置上，所述接收器定位装置带动所述超声波接收器旋转或平移，且所述超声波发射器以预定的发射角度向基板背面发射超声波。

4.根据权利要求1所述的显示器基板质量检测装置，其特征在于，还包括用于带动所述基板水平运动的生产线，多个所述超声波接收器沿与生产线带动基板运动的方向相互垂直的方向排成一列，且所述多个超声波接收器所排成的一列的长度与基板的宽度相匹配。

5.一种显示器基板质量检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

在基板正面设置半导体阵列的制程区和围绕所述制程区的非制程区，在基板背面设置超声波发射器和超声波接收器，超声波发射器向基板背面发射用于检测基板质量的超声波；

超声波接收器接收从基板反射的超声波；

与超声波接收器连接的超声波分析器对接收的超声波进行分析以判断出基板是否出现破裂。

6.根据权利要求5所述的显示器基板质量检测方法，其特征在于，还包括以下步骤：

将所述超声波发射器安装在发射器定位装置上，由所述发射器定位装置带动所述超声波发射器旋转到预定的发射角度或平移到预定的发射位置，然后由超声波发射器以预定的发射角度向基板背面发射超声波。

7.根据权利要求6所述的显示器基板质量检测方法，其特征在于，还包括以下步骤：

将所述超声波接收器安装在接收器定位装置上，由所述接收器定位装置带动所述超声波接收器旋转或平移。

8.根据权利要求5所述的显示器基板质量检测方法，其特征在于，还包括以下步骤：

由生产线带动所述基板水平运动；

将多个所述超声波接收器沿与生产线带动基板运动的方向相互垂直的方向排成一列以接收超声波，且所述多个超声波接收器所排成的一列的长度与基板的宽度相匹配。