[发明专利]微机电系统镜片及微机电系统反射装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种微机电系统镜片及微机电系统反射装置。

背景技术

随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)技术的快速发展与不断完善，微机电系统镜片得到越来越广泛的应用，如应用于条形码读取器、激光印刷机、共焦显微镜、投影显示器和背投电视等。

传统的静电式微机电系统镜片包括反射微镜(mirror)、转向电极及复原电极，通过向复原电极或是转向电极施加电压，使转向电极或复原电极与反射微镜之间产生静电吸引力，从而使反射微镜朝转向电极或复原电极作动，进而实现反射微镜的反射表面的旋转。

发明内容

有鉴于此，提供一种结构简单的微机电系统镜片及微机电系统反射装置实为必要。

一种微机电系统镜片，包括反射微镜及多个微机电驱动模块。该反射微镜包括镜片本体及多个制动轴，该镜片本体具有相对的反射面和底面及连接该反射面和底面的侧面，该多个制动轴分别从该侧面向外延伸，且以该镜片本体的中心轴等角度排列。该多个微机电驱动模块与该多个制动轴一一对应，每一微机电驱动模块包括液体收容盒、光纤及光源。该液体收容盒包括一端开口的刚性的槽体部及将该槽体部的开口密封的挠性的密封膜，该密封膜与对应的制动轴邻近于该底面的一侧相对，该液体收容盒内收容有液体材料，该密封膜与该液体材料的液面相接触，该槽体部开设有贯穿其内壁的收容孔。该光纤具有相对的光入射端和光出射端，该光出射端从该液体收容盒的外侧插入该收容孔。该光源与该光纤的光入射端相对，用于发出光线并入射至光入射端，进而传输至该光出射端并出射，使该液体收容盒内的液体材料遇光变热而膨胀。

一种微机电系统反射装置，包括多个阵列排布的如上所述的微机电系统镜片。

与现有技术相比，本实施例的微机电系统镜片通过液体材料的热胀冷缩来推动制动轴使镜片本体发生倾斜，结构及操作原理更加简单。

附图说明

图1是本发明实施例的微机电系统反射装置的平面示意图。

图2是图1微机电系统反射装置中的微机电系统镜片的平面示意图。

图3是沿图2中III-III方向的截面示意图。

主要元件符号说明