[发明专利]微机电系统镜片及微机电系统反射装置

权利要求书

1.一种微机电系统镜片，包括：

反射微镜，包括镜片本体及多个制动轴，该镜片本体具有相对的反射面和底面及连接该反射面和底面的侧面，该多个制动轴分别从该侧面向外延伸，且以该镜片本体的中心轴等角度排列；及

多个微机电驱动模块，与该多个制动轴一一对应，每一微机电驱动模块包括：

液体收容盒，该液体收容盒包括一端开口的刚性的槽体部及将该槽体部的开口密封的挠性的密封膜，该密封膜与对应的制动轴邻近于该底面的一侧相对，该液体收容盒内收容有液体材料，该密封膜与该液体材料的液面相接触，该槽体部开设有贯穿其内壁的收容孔；

光纤，具有相对的光入射端和光出射端，该光出射端从该液体收容盒的外侧插入该收容孔；及

光源，与该光纤的光入射端相对，用于发出光线并入射至光入射端，进而传输至该光出射端并出射，使该液体收容盒内的液体材料遇光变热而膨胀。

2.如权利要求1所述的微机电系统镜片，其特征在于，该微机电系统镜片进一步包括光开关，设置于该光源与对应的该光纤的光入射端之间，用于根据驱动信号控制该光源发出的光线是否进入该光入射端。

3.如权利要求2所述的微机电系统镜片，其特征在于，该多个微机电驱动模块共享同一个光源。

4.如权利要求1所述的微机电系统镜片，其特征在于，每个微机电驱动模块进一步包括接触部，设置于对应的密封膜与制动轴之间且与对应的密封膜与制动轴分别相接触。

5.如权利要求4所述的微机电系统镜片，其特征在于，该接触部为刚性材料。

6.如权利要求5所述的微机电系统镜片，其特征在于，该接触部的形状为椭圆柱、圆柱、多棱柱、椭球形或球形。

7.如权利要求4所述的微机电系统镜片，其特征在于，该接触部固定连接于该密封膜或制动轴。

8.如权利要求1所述的微机电系统镜片，其特征在于，该镜片本体为正方形，具有四个侧面，该多个制动轴包括四个制动轴，分别由该四个侧面垂直向外延伸。

9.一种微机电系统反射装置，包括多个阵列排布的如权利要求1至8任一项所述的微机电系统镜片。

10.如权利要求9所述的微机电系统反射装置，其特征在于，每一该微机电系统镜片进一步包括光开关，设置于该光源与对应的该光纤的光入射端之间，用于根据驱动信号控制该光源发出的光线是否进入该光入射端，且该多个微机电系统镜片的多个微机电驱动模块共享同一个光源。