[发明专利]一种太阳能电池片抛光液及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片抛光液及其制备方法。

背景技术

电子化学品一般是指为电子工业配套的专用化学品，本项目电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化学品、晶体硅太阳能用化学品和平板显示用化学品等，其具有质量要求高、功能性强、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更精纯。

近几年，中国集成电路行业随着产品由低端向高端延伸发展的新阶段，产业规模大幅提高，以国际国内知名企业如中芯国际、海力士、台积电、华润微电子等为代表的集成电路电路企业已经将中国挤身到国际主要的微电子制造大国。目前，在全世界太阳能绿色能源产业的带动下，我国的太阳能产业发展迅猛，中国已经成为全球第一大光伏产品生产国。在《可再生能源中长期发展规划》发布后，未来将进入全速发展期。中国TFT-LCD产业的发展之路，主要有以下几点因素。第一，上游产业的发展和突破。第二，产业核心技术和关键技术开发能力的提升，特别是自主能力的提升。第三，投资环境和产业配套政策的完善，关于上游等其他的一些配套政策的出台及投资环境的改善，会吸引上游整个产业链的形成。第四，产业规模的形成和扩大。第五，产业相关人才的培养。在这几方面发展的前提条件下才有可能共同努力，打造具有整体竞争力的中国TFT-LCD产业。以上种种形势表明我国在太阳能、IC、TFT-LCD等行业的发展迎来新一轮的发展，与之相配套的超高纯湿法电子化学品——超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂也迎来了新的机遇和挑战。

有鉴于此，如何设计一种太阳能电池片抛光液，以减少金属的比例，提高太阳能电池片抛光液的纯度，从而提高硅片的性能，是业内人士亟需解决的问题。

发明内容

针对现有技术中，太阳能电池片抛光液中金属含量较高，影响了太阳能电池片抛光液的纯度这一缺陷，本发明提供了一种太阳能电池片抛光液及其制备方法。

根据本发明的一个方面，提供了一种太阳能电池片抛光液，其中，以质量百分比计，包括：

1%～10%的四甲基氢氧化铵；

0.5%～5%的胆碱；

1%～10%的无水乙醇；以及

0.5%～5%的异丙醇。

优选的，所述无水乙醇的质量浓度大于99%，所述无水乙醇中的金属含量小于1ppb。

优选的，所述异丙醇的质量浓度大于99%，所述异丙醇中的金属含量小于1ppb。

根据本发明的另一个方面，提供了一种上述太阳能电池片抛光液的制备方法，其中，包括以下步骤：

（a）分别通过预处理无水乙醇及异丙醇以提纯所述无水乙醇及所述异丙醇；

（b）以权利要求1至3任一项所述的太阳能电池片抛光液的比例精密混合所述四甲基氢氧化铵、所述胆碱、所述无水乙醇及所述异丙醇；以及

（c）采用多级循环膜过滤所述步骤（b）中的所述四甲基氢氧化铵、所述胆碱、所述无水乙醇及所述异丙醇；以及

（d）分装获得制品。

优选的，所述步骤（a）中，包括：

（a1）将所述无水乙醇和所述异丙醇分别经过高效精馏、离子交换；

（a2）对所述步骤（a1）中的所述无水乙醇和所述异丙醇分别进行浓度及成分的调配；

（a3）对所述步骤（a2）中的所述无水乙醇和所述异丙醇分别进行多级循环膜过滤；以及

（a4）分装，获得所述无水乙醇和所述异丙醇。

优选的，所述步骤（a1）中，采用的填料为石英填料或聚四氟乙烯填料。

优选的，所述步骤（b）中，通过磁力泵进行循环混合。

优选的，所述步骤（a3）中，所述多级循环膜的材质为聚四氟乙烯膜。

本发明的优点是：通过对无水乙醇和异丙醇进行预处理，使二者内的金属含量小于1ppb，并将四甲基氢氧化铵（Tetramethylammonium Hydroxide，缩写为TMAH）、胆碱、无水乙醇及异丙醇以一定比例混合通过多级循环膜过滤以提高太阳能电池片抛光液的纯度，从而可以通过硅片的效能。

具体实施方式

下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1