[发明专利]用于光场装置的图像传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于光场装置的图像传感器，包括：

多个次微透镜；

一间隔层，设置于上述次微透镜；以及

多个主微透镜，设置于上述间隔层，

其中每一上述主微透镜的一直径超过每一上述次微透镜的一直径。

2.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，还包括：

一感测层，包括多个感测单元；以及

多个滤光单元，其中每一上述滤光单元设置于上述感测单元中的一个，且每一上述次微透镜设置于上述滤光单元中的一个。

3.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，其中每一上述主微透镜的上述直径大于每一上述次微透镜的上述直径的2倍至20倍，每一上述主微透镜的一焦点位于上述次微透镜中的一个。

4.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，其中上述间隔层的一折射率小于1.6，每一上述主微透镜的一折射率小于1.7，每一上述次微透镜的一折射率大于1.7。

5.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，其中每一上述主微透镜的一折射率和上述间隔层的折射率相同。

6.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，其中上述间隔层包括SiO₂，并为可透光的，上述主微透镜包括SiO₂、MgF₂、或是SiON，以及上述次微透镜包括SiN、TiO₂、Ta₂O₅、或是HfO₂。

7.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，其中上述主微透镜包括多个第一微透镜以及多个第二微透镜，其中每一上述第一微透镜的一焦距大于每一上述第二微透镜的一焦距，且上述第一微透镜以及上述第二微透镜交错排列。

8.如权利要求1所述的用于光场装置的图像传感器，其中上述主微透镜包括多个第一微透镜、多个第二微透镜、以及多个第三微透镜，其中每一上述第一微透镜的一焦距大于每一上述第二微透镜的一焦距，每一上述第二微透镜的一焦距大于每一上述第三微透镜的一焦距，且上述第一微透镜、上述第二微透镜以及上述第三微透镜交错排列。

9.一种图像传感器的制造方法，包括：

提供一感测层；

形成多个次微透镜于上述感测层上；

经由一半导体工艺形成一间隔层于上述次微透镜上；以及

形成多个主微透镜于上述间隔层上，其中每一上述主微透镜的一直径超过每一上述次微透镜的一直径。

10.如权利要求9所述的图像传感器的制造方法，还包括形成多个滤光单元于上述感测层，且上述感测层包括多个感测单元，其中每一上述滤光单元设置于上述感测单元中的一个，且每一上述次微透镜设置于上述滤光单元中的一个。