[发明专利]一种多晶金刚石磨料及化学气相沉积(CVD)制作方法有效

专利信息
申请号: 201310050879.6 申请日: 2013-02-05
公开(公告)号: CN103132048A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 陈继锋 申请(专利权)人: 廊坊西波尔钻石技术有限公司
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C30B33/00;C30B29/04;C09K3/14
代理公司: 北京市商泰律师事务所 11255 代理人: 毛燕生
地址: 065300 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 金刚 石磨 料及 化学 沉积 cvd 制作方法
【权利要求书】:

1.种多晶金刚石磨料化学气相沉积(CVD)制作方法,其特征在于含有以下步骤:

步骤1;以金刚石微粉为生长基体,金刚石微粉在处理前含有部分石墨成分,采用化学气相沉积的方法,尤其是热丝化学气相沉积法,在金刚石微粉的表面快速生长出含有比例为0.1%-90%石墨成分的微米或纳米级多晶金刚石层;

步骤2;破碎成更细的颗粒,经过处理、筛选等,获得从亚微米级到毫米级各种粒度的金刚石磨料;

步骤3;制造成所需要粒度的磨料并净化处理后,该石墨成分会被全部或部分去除,石墨被去除的部位则形成微米或纳米金刚石颗粒间的缝隙和空洞。

2.一种多晶金刚石磨料的化学气相沉积(CVD)制作方法,其特征在于含有以下步骤:

步骤1;以板状的钼、钨、石墨、硅等为基体,快速生长出含有较多石墨成分的微米颗粒或纳米颗粒的多晶金刚石厚片;

步骤2;然后将该多晶金刚石厚片破碎、处理、筛选,从而获得从亚微米级到毫米级各种粒度的金刚石磨料。

步骤3;制造成所需要粒度的磨料并净化处理后,该石墨成分会被全部或部分去除,石墨被去除的部位则形成微米或纳米金刚石颗粒间的缝隙和空洞。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶金刚石磨料的化学气相沉积(CVD)制作方法,其特征在于化学气相沉积的方法包括但不限于热丝CVD法、直流喷射CVD法、微波CVD法、直流辉光放电CVD法、火焰燃烧CVD法。

4.根据权利要求3所述的一种采用化学气相沉积(CVD)方法制造的多晶金刚石磨料,其结构为:每一粒磨料均由大量微米和亚微米级细小的金刚石颗粒构成,相邻小金刚石颗粒间存在间隙,但小部分区域结合在一起,形成一种菜花状结构。

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