[发明专利]基板检查装置的对准方法以及基板检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及调整检查夹具与被检查基板的位置关系的基板检查装置的对准方法以及基板检查装置。

背景技术

作为这种以往技术，例如有在专利文献1中记载的技术。在该专利文献1在记载的技术中，根据由基板用的照相机拍摄被检查基板所得到的拍摄图像来取得被检查基板的位置信息，并根据由夹具用的照相机拍摄检查部具的检查销的前端所得到的拍摄图像来取得检查夹具的检查销前端的位置信息，根据这些位置信息来自动地求出被检查基板与检查夹具的位置关系（参见摘要等）。

[专利文献1]日本特开2000-346896号公报

但是，上述专利文献1记载的技术是在检查夹具上只设置两个检查销的情况下的技术。因此，如果要应用到在检查夹具中设置有大量（例如，数千个的规模等）的检查销的情况下，则为了准确地取得各检查销前端的位置信息，就需要高分辨率且高精度的拍摄设备，存在设备成本过高的问题。

另外，在以往的基板检查装置中，使检查夹具接近被检查基板时在Z方向的移动距离的设定是由操作者通过目视进行的。因此，在该检查夹具的移动距离的设定中会产生偏差，有发生检查夹具的检查销与被检查基板接触时的按压力过强、或检查销与被检查基板的检查点的接触不充分的情况。如果检查夹具接触时的压力过强，则在检查夹具接触时被检查基板弯曲，由此设置在被检查基板上的检查点的位置在XY方向上微小偏移，产生检查夹具的检查销与被检查基板的检查点的位置偏移。

因而，本发明要解决的第一个课题在于提供一种即使在检查夹具上设置大量的检查销的情况下，也能够以廉价的结构且高效率地进行检查夹具与被检查基板的对位的基板检查装置的对准方法以及基板检查装置。

另外，本发明要解决的第二个课题在于提供一种能够稳定地将使检查夹具接近被检查基板时在Z方向的移动距离设定为最优值，并能够使检查夹具的检查销稳定地与被检查基板的检查点相接触的基板检查装置的对准方法以及基板检查装置。

发明内容

为了解决上述课题，在本发明的第一方面，提供一种调整检查夹具与被检查基板的位置关系的基板检查装置的对准方法，其中，设置在基板检查装置的夹具设置部上的所述检查夹具具有可接近、离开设置在基板设置部上的被检查基板并分别与设定在上述被检查基板上的多个检查点接触的多个检查销，所述方法具备以下步骤：测量在设置于上述夹具设置部上的上述检查夹具上设置的上述多个检查销中的一部分或全部检查销的在XY方向的销位置从设计位置的偏移，对所测量到的偏移进行平均并取得销平均偏移，并测量设置在上述检查夹具上的夹具位置标记的在XY方向的位置从设计位置的偏移并取得夹具位置标记偏移的步骤；将所取得的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移单独地或合成并登记在上述基板检查装置中的步骤；利用设置在上述基板检查装置上的夹具照相机拍摄在上述夹具设置部上设置的上述检查夹具的上述夹具位置标记，根据基于所拍摄图像中的上述夹具位置标记的位置而检测到的上述夹具位置的在XY方向的位置、以及单独地或合成并预先登记的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移，来取得与上述检查夹具的在XY方向的位置有关的夹具位置信息的步骤；利用设置在上述基板检查装置上的基板照相机拍摄在上述基板设置部上设置的上述被检查基板，并根据所拍摄图像取得与上述被检查基板的在XY方向的位置有关的基板位置信息的步骤；以及根据所取得的上述夹具位置信息和上述基板位置信息，来调整上述检查夹具和上述被检查基板的至少一方的位置，使得上述检查夹具的在XY方向的位置与上述被检查基板的在XY方向位置相对应的步骤。

另外，在本发明的第二方面，在上述第一方面的基板检查装置的对准方法中，将预先取得的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移登记在上述基板检查装置中的上述步骤是伴随着将设置在上述夹具设置部上的上述检查夹具更换而执行的。

另外，在本发明的第三方面，在上述第一或第二方面的基板检查装置的对准方法中还具备以下步骤：将与设置在上述夹具设置部上的上述检查夹具的沿Z方向的高度有关的高度信息登记在上述基板夹具装置中的步骤；利用设置在上述基板检查装置上的基板表面位置检测部检测设置在上述基板设置部上的上述被检查基板的表面的位置的步骤；以及根据检测到的上述被检查基板的表面的位置信息和所登记的上述高度信息，确定使上述检查夹具接近并接触上述被检查基板时上述检查夹具在Z方向的移动距离的步骤。